Bi pêşketina zêde ya pêçandina bi sputterê, bi taybetî teknolojiya pêçandina bi sputterê magnetronê, niha, ji bo her materyalê fîlma hedefê dikare bi bombebarana îyonan were amadekirin, ji ber ku hedef di pêvajoya pêçandina wê de li ser hin celeb substratê tê sputterkirin, kalîteya fîlma pîvandî bandorek girîng dike, ji ber vê yekê, pêdiviyên ji bo materyalê hedef jî hişktir in. Di hilbijartina materyalê hedefê de, ji bilî karanîna fîlmê bi xwe divê were hilbijartin, divê pirsgirêkên jêrîn jî werin hesibandin:
Divê materyalê hedef piştî fîlmê xwedî hêza mekanîkî ya baş û aramiya kîmyewî be;
Divê hedef û substrat bi hişkî werin hevgirtin, wekî din divê bi substratê re were girtin ku têkeliyek baş a qata parzûnê heye, pêşî fîlimek bingehîn were rijandin û dûv re qata parzûnê ya pêwîst were amadekirin;
Wek reaksiyonekê, birijandina nav materyalê perdeyê divê bi hêsanî bi gazê re reaksiyonê bike da ku fîlmek pêkhatî çêbibe.
Li gorî pêşbîniya bicîhanîna pêdiviyên performansa membranê, cudahiya di navbera katsayiya berfirehbûna germî ya materyalê hedef û substratê de bi qasî ku pêkan be piçûk be, da ku bandora stresa germî li ser membrana sputterkirî kêm bibe.
Li gorî hewcedariyên karanîn û performansa membranê, materyalê hedef divê paqijî, naveroka nepakiyê, yekrengiya pêkhateyan, rastbûna makînekirinê û hewcedariyên din ên teknîkî bicîh bîne.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: Çile-09-2024