1. Teknolojiya CVD ya germî
Pêçanên hişk bi piranî pêçanên seramîk ên metal (TiN, hwd.) in, ku ji reaksiyona metalê di pêçanê de û gazkirina reaktîf çêdibin. Di destpêkê de, teknolojiya CVD ya germî ji bo dabînkirina enerjiya çalakkirina reaksiyona tevlihevkirinê bi enerjiya germî di germahiyek bilind a 1000 ℃ de hate bikar anîn. Ev germahî tenê ji bo danîna TiN û pêçanên din ên hişk li ser amûrên karbîdê yên çîmentokirî guncaw e. Heta niha, danîna pêçanên kompozît ên TiN-Al20 li ser serên amûrên karbîdê yên çîmentokirî hîn jî teknolojiyek girîng e.
2. Pêçandina îyonê ya katodê ya vala û pêçandina îyonê ya arka têla germ
Di salên 1980an de, pêçandina îyonê ya katoda vala û pêçandina îyonê ya kevana têla germ ji bo danîna amûrên birrîna pêçayî dihatin bikar anîn. Herdu teknolojiyên pêçandina îyonê jî teknolojiyên pêçandina îyonê yên berdana kevanê ne, bi rêjeya îyonîzasyona metalê heta %20~%40.
3. Pêçandina îyonê ya kevana katodê
Derketina holê ya pêçandina îyonên kevana katodîk bûye sedema pêşveçûna teknolojiya danîna pêçandinên hişk li ser qaliban. Rêjeya îyonîzasyonê ya pêçandina îyonên kevana katodîk %60~90 e, ku dihêle hejmareke mezin ji îyonên metal û îyonên gaza reaksiyonê bigihîjin rûyê perçeyê kar û dîsa jî çalakiya xwe ya bilind biparêzin, di encamê de dibe sedema danîna reaksiyonê û çêbûna pêçandinên hişk ên wekî TiN. Niha, teknolojiya pêçandina îyonên kevana katodîk bi giranî ji bo danîna pêçandinên hişk li ser qaliban tê bikar anîn.
Çavkaniya kevana katodê çavkaniyeke buharbûnê ya rewşa hişk e bêyî hewzek helandî ya sabît, û pozîsyona çavkaniya kevanê dikare bi awayekî keyfî were danîn, rêjeya bikaranîna cîhê odeya pêçandinê baştir dike û kapasîteya barkirina firnê zêde dike. Şêweyên çavkaniyên kevana katodê çavkaniyên kevana katodê yên dorhêl ên piçûk, çavkaniyên kevana stûnî, û çavkaniyên kevana mezin ên çargoşeyî yên daîre vedihewîne. Pêkhateyên cûda yên çavkaniyên kevana piçûk, çavkaniyên kevana stûnî, û çavkaniyên kevana mezin dikarin ji hev cuda werin rêzkirin da ku fîlmên pir-qatî û fîlmên nano pir-qatî werin danîn. Di vê navberê de, ji ber rêjeya îyonîzasyona metal a bilind a pêçandina îyona kevana katodê, îyonên metal dikarin bêtir gazên reaksiyonê bikişînin, ku di encamê de rêzek pêvajoyek fireh û operasyonek hêsan çêdibe da ku pêçandinên hişk ên hêja werin bidestxistin. Lêbelê, di mîkroavahîya qata pêçandinê de ku bi pêçandina îyona kevana katodê ve hatî bidestxistin dilopên qalind hene. Di salên dawî de, gelek teknolojiyên nû derketine holê da ku avahiya qata fîlmê baştir bikin, ku kalîteya fîlma pêçandina îyona kevanê baştir kiriye.
——Ev gotar ji hêla Guangdong Zhenhua Technology ve hate weşandin, açêkerê makîneyên pêçandina optîkî.
Dema weşandinê: 28ê Nîsanê-2023