박막 성장은 박막의 성장에 매우 중요한 영향을 미칩니다. 기판의 표면 거칠기가 크고 표면 결함과 결합될수록 박막의 부착 및 성장 속도에 영향을 미칩니다. 따라서 진공 코팅을 시작하기 전에 기판에 전처리 공정을 수행해야 하며, 이는 기판 표면 거칠기에 영향을 미칩니다. 초음파 처리 후 기판 표면에 미세한 스크래치가 형성되어 박막 입자와 기판 표면의 접촉 면적이 증가하여 로터의 형상과 박막 베이스의 결합력이 크게 향상됩니다.
대부분의 기판 소재는 기판의 거칠기가 감소함에 따라 필름 접착력이 증가하여 막 기저부 결합력이 강해집니다. 세라믹 기판의 필름 접착력과 같이 특수한 경우의 기판 소재도 있습니다. 필름 접착력이 감소하면 막 기저부 결합력이 약해집니다.
필름과 필름을 매칭하는 영향 요인에서 열적 체적 계수는 결정적인 역할을 합니다. 필름의 열팽창 계수가 매트릭스의 열팽창 계수보다 크면 토크는 음수이고 최대 장력은 자유 경계에 있습니다. 압축되기 위해 중심부에 가까워지고 필름이 층을 이룰 수 있습니다. 퇴적된 Skinus 박막을 예로 들어 보겠습니다. 다이아몬드의 열팽창 계수가 작기 때문에 기상 증착이 끝나면 기판 온도가 더 높은 퇴적 온도에서 실온으로 낮아지고 다이아몬드의 수축은 기판에 비해 줄어듭니다. 내부에 큰 열 응력이 발생합니다. 필름의 열팽창 계수가 기판의 가열 원장 계수보다 작으면 토크는 양수이고 필름을 층을 이루기 쉽지 않습니다.
–이 기사는 다음에서 발행합니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화
게시 시간: 2024년 2월 29일