저항 가열 증발원은 구조가 간단하고, 사용 및 제작이 용이하며, 가장 널리 사용되는 증발원 중 하나입니다. 사람들은 이를 일반적으로 열 발생기 또는 증발 보트라고 부릅니다.
가열에 사용되는 저항 재료의 요건은 다음과 같습니다. 고온, 저항률, 고온에서의 낮은 증기압, 멤브레인 재료와의 화학 반응 없음, 가스 발생 및 오염 물질 없음. 저항 가열 재료는 주로 W, Mo, Ta 등의 내화성 금속 또는 고순도 고강도 흑연이나 질화붕소 합성 전도성 세라믹 및 기타 재료를 사용합니다. 경우에 따라 증발원으로 Fe, Ni, Ni-Cr 합금, Pt를 선택할 수도 있습니다.
일반적인 재료(예: Ti, Mo, C, Ta, W 등)의 다양한 저항 가열 증발원에 따라 녹는점, 증기압, 온도 관계 곡선이 다릅니다. 그중 텅스텐은 가열 접합 생성물 때문에 증발 온도까지 가열하면 취성이 됩니다. 반면 몰리브덴은 순도가 다양하여 일부는 취성이 되고 일부는 그렇지 않습니다. 텅스텐은 수증기와 반응하여 휘발성 산소 화합물 WO3를 형성합니다.
따라서 텅스텐을 잔류 수증기 속에서 가열하면 가열된 재료가 지속적으로 소모됩니다. 잔류 가스 압력이 낮으면 재료 손실은 크지 않지만, 막의 심각한 오염을 초래합니다.
필라멘트 공급원을 사용할 때는 열선이 멤브레인 소재에 젖는 현상에 주의해야 합니다. 예를 들어, 열선의 온도가 너무 빨리 상승하면 멤브레인 소재가 모든 멤브레인을 즉시 녹이지 못하고 열선의 젖음성이 충분하지 않습니다. 결과적으로 녹지 않은 필름이 와이어 바스켓에서 떨어질 수 있습니다. 또한, 온도 상승이 너무 빠르면 멤브레인 소재에서 가스가 빠르게 방출되어 기포나 튀는 현상이 발생하고, 결과적으로 작은 물방울이 기판에 달라붙게 됩니다. 따라서 필라멘트 공급원은 온도 조절을 통해 사용해야 합니다.
와이어 바스켓, 원뿔형 코일 또는 나선형 코일의 주요 단점은 지지 필름 재료의 양이 너무 적다는 것입니다. 이 때문에 필름 재료가 증발한 후 필름 재료의 양이 감소함에 따라 열선의 온도가 상승하여 증발 속도가 증가합니다. 이는 증발 속도의 엄격한 제어가 필요한 필름 제조 공정에서도 주의해야 할 문제입니다.
(2) 작동원리 및 구조 형상 및 사용 특성
저항 가열 증발원은 실제로 저항 히터이며, 열 발생기 또는 증발 보트에 직접 전원을 공급하여 많은 줄의 열을 통해 전류를 흐르게 하고 고온으로 금속 필름 재료를 녹여 일종의 증발원이 됩니다.
–이 기사는 다음에서 발행합니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화
게시 시간: 2024년 2월 23일