ការជ្រើសរើសគោលដៅ និងចំណាត់ថ្នាក់

ជាមួយនឹងការរីកចម្រើននៃថ្នាំកូត sputtering ជាពិសេសបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត magnetron sputtering នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ សម្រាប់សម្ភារៈណាមួយអាចត្រូវបានរៀបចំដោយខ្សែភាពយន្តគោលដៅទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុង ដោយសារតែគោលដៅត្រូវបាន sputtered នៅក្នុងដំណើរការនៃការស្រោបវាទៅនឹងប្រភេទនៃស្រទាប់ខាងក្រោម គុណភាពនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានវាស់វែងមានផលប៉ះពាល់យ៉ាងសំខាន់ ដូច្នេះតម្រូវការសម្រាប់សម្ភារៈគោលដៅក៏កាន់តែតឹងរ៉ឹងផងដែរ។ នៅក្នុងការជ្រើសរើសសម្ភារៈគោលដៅ បន្ថែមពីលើការប្រើប្រាស់ខ្សែភាពយន្តខ្លួនឯងគួរតែត្រូវបានជ្រើសរើស ក៏គួរពិចារណាលើបញ្ហាដូចខាងក្រោមៈ

សម្ភារៈគោលដៅគួរតែមានកម្លាំងមេកានិចល្អនិងស្ថេរភាពគីមីបន្ទាប់ពីខ្សែភាពយន្ត;

គោលដៅនិងស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវតែត្រូវបានរួមបញ្ចូលគ្នាយ៉ាងរឹងមាំ, បើមិនដូច្នេះទេវាគួរតែត្រូវបានយកជាមួយស្រទាប់ខាងក្រោមមានការរួមបញ្ចូលគ្នាដ៏ល្អនៃស្រទាប់ភ្នាស, ដំបូង sputtering ខ្សែភាពយន្តមូលដ្ឋានមួយហើយបន្ទាប់មកការរៀបចំនៃស្រទាប់ភ្នាសដែលត្រូវការ;

ក្នុងនាមជាប្រតិកម្ម sputtering ចូលទៅក្នុងសម្ភារៈភ្នាសត្រូវតែមានភាពងាយស្រួលក្នុងការប្រតិកម្មជាមួយឧស្ម័នដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុមួយ។

នៅក្រោមការសន្មត់នៃការបំពេញតាមតម្រូវការនៃការអនុវត្តនៃភ្នាស ភាពខុសគ្នារវាងមេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅនៃសម្ភារៈគោលដៅ និងស្រទាប់ខាងក្រោមគឺតូចតាមដែលអាចធ្វើបាន ដើម្បីកាត់បន្ថយឥទ្ធិពលនៃភាពតានតឹងកម្ដៅលើភ្នាសរំអិល។

យោងតាមតម្រូវការប្រើប្រាស់ និងការអនុវត្តនៃភ្នាស សម្ភារៈគោលដៅត្រូវតែបំពេញតាមភាពបរិសុទ្ធ មាតិកាមិនបរិសុទ្ធ ឯកសណ្ឋាននៃសមាសធាតុ ភាពត្រឹមត្រូវនៃម៉ាស៊ីន និងតម្រូវការបច្ចេកទេសផ្សេងទៀត។

- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ