តើថ្នាំកូតមីក្រូខួងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវគុណភាពរន្ធ PCB និងកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការពាក់ និងការបែកខួងយ៉ាងដូចម្តេច?

អំឡុងពេលខួង PCB មេកានិច ខួងខ្នាតតូចតែមួយត្រូវតែជ្រាបចូលទៅក្នុងវត្ថុធាតុច្រើនជាបន្តបន្ទាប់ រួមទាំងបន្ទះទង់ដែង ជ័រ ជាតិសរសៃកញ្ចក់ និងសារធាតុបំពេញមុខងារ។ ទោះបីជាដំណើរការនេះអាចហាក់ដូចជាពាក់ព័ន្ធនឹងការខួងម្តងហើយម្តងទៀតក៏ដោយ គែមកាត់នៃខួងខ្នាតតូចត្រូវបានទទួលរងនូវការពាក់សំណឹកជាបន្តបន្ទាប់ពីភាគល្អិតរឹង កំដៅកកិត និងបន្ទុកមេកានិចជារង្វង់។

ដោយសារការផលិត PCB បន្តអភិវឌ្ឍឆ្ពោះទៅរកដង់ស៊ីតេសៀគ្វីខ្ពស់ ចំនួនស្រទាប់កាន់តែច្រើន និងធរណីមាត្រកាន់តែល្អិតល្អន់ អង្កត់ផ្ចិតរន្ធដែលខួងកាន់តែតូចទៅៗ។ ទន្ទឹមនឹងនេះ បន្ទះឡាមីណេតដែលពិបាកកែច្នៃ រួមទាំងវត្ថុធាតុដើមដែលមាន Tg ខ្ពស់ និងមាតិកាបំពេញខ្ពស់ កំពុងត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយ។ ជាពិសេសនៅពេលដែលអង្កត់ផ្ចិតនៃខួងខ្នាតតូចធ្លាក់ចុះក្រោម 0.1 មីលីម៉ែត្រ តម្រូវការកាន់តែតឹងរ៉ឹងត្រូវបានដាក់លើកម្លាំងចំណុចខួង ភាពធន់នឹងការពាក់ទំនើប ការហូរចេញនៃបន្ទះឈីប និងស្ថេរភាពខួងទាំងមូល។

នៅពេលដែលការពាក់ខ្លាំងកើតឡើង ផលប៉ះពាល់នឹងលាតសន្ធឹងហួសពីអាយុកាលឧបករណ៍ដែលថយចុះ។ វាក៏អាចនាំឱ្យមានភាពរដុបនៃជញ្ជាំងរន្ធកើនឡើង ស្នាមខួងចូល និងចេញ ការថយចុះនៃភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃអង្កត់ផ្ចិតរន្ធ និងសូម្បីតែការបាក់ខួង។

ដូច្នេះ ការកែលម្អភាពធន់នឹងការពាក់របស់ខួងមីក្រូ និងការកាត់បន្ថយការកកិតតាមរយៈថ្នាំកូតផ្ទៃ កំពុងក្លាយជាវិធីសាស្រ្តបច្ចេកទេសដ៏សំខាន់មួយ ដើម្បីបង្កើនគុណភាពខួង PCB។

១. ការពាក់​សឹក​របស់​ខួង​មីក្រូ​ប៉ះពាល់​ដល់​ច្រើន​ជាង​អាយុកាល​ឧបករណ៍

បន្ទះ PCB ជាទូទៅត្រូវបានផ្សំឡើងពីបន្ទះស្ពាន់ ជ័រ ជាតិសរសៃកញ្ចក់ និងសារធាតុបំពេញមុខងារផ្សេងៗ។ ក្នុងអំឡុងពេលខួងល្បឿនលឿន ខួងមីក្រូត្រូវតែកាត់ម្តងហើយម្តងទៀតតាមរយៈសម្ភារៈដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច និងកម្ដៅខុសគ្នាគួរឱ្យកត់សម្គាល់។ ជាតិសរសៃកញ្ចក់ និងសារធាតុបំពេញរឹងមួយចំនួនបណ្តាលឱ្យមានការពាក់សំណឹកជាបន្តបន្ទាប់នៅលើចំណុចខួង និងគែមកាត់ ខណៈពេលដែលជ័រអាចជាប់នឹងចំណុចខួង ឬខ្លុយរាងវង់ក្រោមឥទ្ធិពលរួមបញ្ចូលគ្នានៃការកកិត និងកំដៅកាត់ ដែលប៉ះពាល់អវិជ្ជមានដល់ការហូរចេញនៃបន្ទះឈីបជាបន្តបន្ទាប់។

នៅពេលដែលចំនួនរន្ធដែលខួងកើនឡើង គែមកាត់របស់មីក្រូខួងនឹងក្លាយទៅជាមូលបន្តិចម្តងៗ។ កម្លាំងរុញអ័ក្សដែលត្រូវការដើម្បីជ្រាបចូលទៅក្នុងស្រទាប់ឈើកើនឡើងតាមនោះ ខណៈពេលដែលការកកិត និងការបង្កើតកំដៅអាចកាន់តែខ្លាំងឡើងបន្ថែមទៀត។ ក្រោមលក្ខខណ្ឌទាំងនេះ សកម្មភាពកាត់លើបន្ទះស្ពាន់ ជ័រ និងសរសៃកញ្ចក់កាន់តែយ៉ាប់យ៉ឺនបន្តិចម្តងៗ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការបង្ហាប់ ការកោស ឬការរហែកជាជាងការដកសម្ភារៈចេញ។ នេះអាចបង្កើនភាពរដុបនៃជញ្ជាំងរន្ធ បង្កើតជាស្នាមប្រេះចូល និងចេញកាន់តែច្បាស់ និងកាត់បន្ថយភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃអង្កត់ផ្ចិតរន្ធ។ សម្រាប់បន្ទះ PCB ល្អិតល្អន់ និងបន្ទះភ្ជាប់ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ ឬ HDI ពិការភាពទាំងនេះក៏អាចបង្កើនការលំបាកនៃការធ្វើលោហៈរន្ធជាបន្តបន្ទាប់ និងការគ្រប់គ្រងគុណភាពផងដែរ។

លើសពីនេះ អង្កត់ផ្ចិតខួងខ្នាតតូចកាន់តែតូច សមត្ថភាពផ្ទុកបន្ទះសៀគ្វីនៃហ្វ្លុយអ៊ីលីករបស់វាកាន់តែមានកម្រិត។ នៅពេលដែលបន្ទះសៀគ្វីប្រមូលផ្តុំ ឬជ័រជាប់នឹងចំណុចខួង គែមកាត់ ឬហ្វ្លុយអ៊ីទីក ភាពធន់នឹងការខួងអាចប្រែប្រួលគួរឱ្យកត់សម្គាល់។ នៅពេលដែលផ្សំជាមួយនឹងការពាក់ខួងខ្នាតតូច ការរត់ចេញរបស់ spindle ឬប៉ារ៉ាម៉ែត្រខួងមិនសមរម្យ បន្ទុកពត់កោង និងរមួលដែលធ្វើសកម្មភាពលើខួងខ្នាតតូចអាចកើនឡើង ដោយហេតុនេះបង្កើនហានិភ័យនៃការពត់កោង និងការបាក់របស់ខួង។

2. តើថ្នាំកូតមីក្រូខួងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវការខួង PCB យ៉ាងដូចម្តេច?

ថ្នាំកូតរឹងដូចជា ta-C, AlTiN, AlCrN និង CrN អាចត្រូវបានដាក់លើខួងមីក្រូ PCB។ ក្នុងចំណោមសម្ភារៈទាំងនេះ កាបូនអម៉ូហ្វូស tetrahedral ឬ ta-C រួមបញ្ចូលគ្នានូវភាពរឹងខ្ពស់ជាមួយនឹងមេគុណកកិតទាប ដែលជួយកាត់បន្ថយការពាក់គែមកាត់ និងភាពធន់នឹងការខួង ខណៈពេលដែលការពារចំណុចខួង និងគែមកាត់។ ក្នុងការអនុវត្តជាក់ស្តែង ថ្នាំកូតខួងមីក្រូធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការខួងជាចម្បងដោយការពន្យាពេលការពាក់គែមកាត់ កាត់បន្ថយការកកិត និងភាពធន់នឹងការហួតបន្ទះឈីប និងធ្វើឱ្យគុណភាពរន្ធមានស្ថេរភាព។

ថ្នាំកូតរឹងខ្ពស់កាត់បន្ថយការប៉ះផ្ទាល់រវាងសរសៃកញ្ចក់ សារធាតុបំពេញរឹង និងស្រទាប់ខាងក្រោមកាបូអ៊ីដស៊ីម៉ង់ត៍។ នេះជួយបន្ថយការពាក់នៅលើចំណុចខួង គែមកាត់បឋម និងគែម ដែលអនុញ្ញាតឱ្យខួងខ្នាតតូចរក្សាស្ថានភាពគែមកាត់ដែលមានស្ថេរភាពល្អលើវដ្តខួងកាន់តែច្រើន។

ថ្នាំកូតដែលមានការកកិតទាបជួយកាត់បន្ថយការកកិតរវាងខួងមីក្រូ បន្ទះ PCB និងបន្ទះសៀគ្វីដែលបានបង្កើត។ ពួកវាក៏អាចកាត់បន្ថយទំនោរនៃបន្ទះសៀគ្វី និងជ័រក្នុងការជាប់នឹងចំណុចខួង និងរាងវង់ ដែលបង្កើតលក្ខខណ្ឌផ្ទៃអំណោយផលជាងមុនសម្រាប់ការហូរចេញនៃបន្ទះសៀគ្វី។

នៅពេលដែលអត្រានៃការពាក់នៃគែមកាត់ត្រូវបានគ្រប់គ្រងប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព ការប្រែប្រួលនៃស្ថានភាពគែមកាត់ក្នុងដំណាក់កាលផ្សេងៗគ្នានៃការកែច្នៃអាចត្រូវបានកាត់បន្ថយ។ នេះជួយកែលម្អគុណភាពជញ្ជាំងរន្ធ និងភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃអង្កត់ផ្ចិតរន្ធ ខណៈពេលដែលកំណត់ការបង្កើតស្នាមប្រេះចូល និងចេញ។

ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ថ្នាំកូតមិនអាចលុបបំបាត់ការបាក់បែកខួងបានទាំងស្រុងនោះទេ។ ការខូចខួងក៏ទាក់ទងនឹងអង្កត់ផ្ចិតខួងខ្នាតតូច ប្រភេទឡាមីណេត កម្ពស់ជង់ ស្ថានភាពអ័ក្ស និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រខួងផងដែរ។ តាមរយៈការបន្ថយការពាក់ កាត់បន្ថយការកកិត និងកែលម្អការហូរចេញនៃបន្ទះឈីប ថ្នាំកូតដែលត្រូវបានរចនាឡើងយ៉ាងត្រឹមត្រូវអាចកាត់បន្ថយបន្ទុកកាត់មិនប្រក្រតី ហើយជាលទ្ធផលកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការបាក់បែកខួង។

៣. ម៉ាស៊ីនខួងខ្នាតតូចតូចៗតម្រូវឱ្យមានដំណើរការថ្នាំកូតដែលច្បាស់លាស់ជាងមុន

បើប្រៀបធៀបជាមួយឧបករណ៍កាត់ធម្មតា ខួងមីក្រូ PCB មានទំហំតូចជាងច្រើន និងចំណុចខួង និងធរណីមាត្រទំនើបៗកាន់តែឆ្ងាញ់។ ដូច្នេះ ថ្នាំកូតខួងមីក្រូមិនអាចផ្តោតតែលើការសម្រេចបាននូវភាពរឹងខ្ពស់នោះទេ។ កម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត គុណភាពផ្ទៃ និងការស្អិតជាប់នៃថ្នាំកូត-ស្រទាប់ខាងក្រោមក៏ត្រូវតែគ្រប់គ្រងដោយប្រុងប្រយ័ត្នផងដែរ។

ប្រសិនបើថ្នាំកូតស្តើងពេក ការការពាររបស់វាប្រឆាំងនឹងការសឹករិចរិលអាចមិនគ្រប់គ្រាន់។ ប្រសិនបើវាក្រាស់ពេក វាអាចផ្លាស់ប្តូរទម្រង់មីក្រូទស្សន៍នៃគែមកាត់ និងបណ្តាលឱ្យគែមមូល ឬមិនមុត។ អង្កត់ផ្ចិតខួងតូចជាង ប្រសិទ្ធភាពកាត់របស់វាកាន់តែងាយនឹងប្រែប្រួលទៅតាមកម្រាស់ថ្នាំកូត។

ការដាក់លោហៈធាតុ cathodic arc ធម្មតាក៏អាចបង្កើតជា macroparticles ផងដែរ។ ប្រសិនបើ macroparticles ទាំងនេះត្រូវបានដាក់នៅជិតចំណុចខួង គែមកាត់ ឬគែម ពួកវាអាចបង្កើនភាពរដុបនៃផ្ទៃថ្នាំកូត និងធ្វើឱ្យខូចភាពមុតស្រួចនៃគែមកាត់។ ចំពោះខួងមីក្រូល្អិតបំផុតដែលមានអង្កត់ផ្ចិតក្រោម 0.1 មីលីម៉ែត្រ ភាគល្អិតដែលមានទំហំដាច់ខាតដូចគ្នាអាចមានផលប៉ះពាល់កាន់តែច្រើនទៅលើធរណីមាត្រកាត់។

ខួងខ្នាតតូចក៏មានលក្ខណៈពិសេសបីវិមាត្រស្មុគស្មាញផងដែរ រួមទាំងចំណុចខួង គែមកាត់ គែម និងចង្អូរបន្ទះឈីបរាងវង់។ ដូច្នេះក្នុងអំឡុងពេលលាបថ្នាំជាបាច់ ការរចនាគ្រឿងបរិក្ខារ ដង់ស៊ីតេផ្ទុក និងចលនាស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវតែធ្វើឱ្យប្រសើរយ៉ាងទូលំទូលាយ ដើម្បីសម្រេចបាននូវការគ្របដណ្តប់ថ្នាំកូតគ្រប់គ្រាន់លើតំបន់មុខងារផ្សេងៗគ្នា ខណៈពេលដែលរក្សាបាននូវភាពស៊ីសង្វាក់គ្នាក្នុងចំណោមខួងខ្នាតតូចនីមួយៗ។

៤. ដំណោះស្រាយថ្នាំកូតមីក្រូខួង PCB បូមធូលី Zhenhua — ប្រព័ន្ធថ្នាំកូតរឹង FMA0605

ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការដំណើរការថ្នាំកូត និងគុណភាពផ្ទៃរបស់ឧបករណ៍ខួងខ្នាតតូច និងឧបករណ៍កាត់ភាពជាក់លាក់ផ្សេងទៀត ប្រព័ន្ធថ្នាំកូតរឹង Zhenhua Vacuum FMA0605 ប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យា cathodic arc ដែលត្រងដោយម៉ាក្រូភាគល្អិត។ បច្ចេកវិទ្យានេះត្រងម៉ាក្រូភាគល្អិតដែលបង្កើតឡើងក្នុងអំឡុងពេលដាក់លោហៈធាតុ cathodic arc ដែលអាចឱ្យថ្នាំកូត ta-C សម្រេចបានទាំងការដាក់លោហៈធាតុប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព និងដំណើរការថ្នាំកូតដែលប្រសើរឡើង។

ថ្នាំកូត ta-C ដែលដាក់ដោយប្រព័ន្ធអាចសម្រេចបាននូវភាពរឹងជាមធ្យមរហូតដល់ 63 GPa ខណៈពេលដែលរក្សាលក្ខណៈកកិតទាប។ ភាពរឹងខ្ពស់ជួយទប់ទល់នឹងការពាក់សំណឹកដែលបណ្តាលមកពីសរសៃកញ្ចក់ និងសារធាតុបំពេញរឹងនៅក្នុងបន្ទះ PCB ។ មេគុណកកិតទាបជួយកាត់បន្ថយភាពធន់រវាងខួងមីក្រូ បន្ទះ និងបន្ទះសៀគ្វី ខណៈពេលដែលកំណត់ភាពស្អិតជាប់នៃបន្ទះសៀគ្វី និងបង្កើតលក្ខខណ្ឌផ្ទៃអំណោយផលជាងមុនសម្រាប់ការខួងជាបន្តបន្ទាប់ និងការជម្លៀសបន្ទះសៀគ្វី។

បន្ថែមពីលើថ្នាំកូត ta-C ប្រព័ន្ធនេះក៏អាចដាក់ថ្នាំកូតដែលធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងថ្នាំកូតរឹងខ្លាំងដូចជា AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN និង CrN ផងដែរ។ ថ្នាំកូតទាំងនេះត្រូវបានអនុវត្តទៅលើផ្សិត ឧបករណ៍កាត់ ដាល់ គ្រឿងបន្លាស់រថយន្ត ពីស្តុង និងផលិតផលធន់នឹងការពាក់ផ្សេងទៀត។

៥. សេចក្តីសន្និដ្ឋាន

ដោយសារការខួង PCB បន្តរីកចម្រើនឆ្ពោះទៅរកអង្កត់ផ្ចិតរន្ធតូចជាងមុន និងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃការកែច្នៃ តម្លៃនៃថ្នាំកូតខួងខ្នាតតូចលែងត្រូវបានកំណត់ចំពោះការពន្យារអាយុកាលឧបករណ៍ទៀតហើយ។ អ្វីដែលសំខាន់ជាងនេះទៅទៀត ថ្នាំកូតជួយរក្សាស្ថានភាពទំនើប ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវគុណភាពរន្ធ និងបង្កើនស្ថេរភាពក្នុងអំឡុងពេលខួងជាបន្តបន្ទាប់។ ដំណោះស្រាយថ្នាំកូតដែលមានប្រសិទ្ធភាពត្រូវតែពិចារណាយ៉ាងទូលំទូលាយអំពីភាពរឹងរបស់ថ្នាំកូត ប្រសិទ្ធភាពកកិត កម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត គុណភាពផ្ទៃ និងការស្អិតជាប់នៃថ្នាំកូត-ស្រទាប់ខាងក្រោម ខណៈពេលដែលក៏ត្រូវបានផ្គូផ្គងទៅនឹងលក្ខណៈបច្ចេកទេសខួងខ្នាតតូច ប្រភេទបន្ទះ PCB និងលក្ខខណ្ឌខួងជាក់ស្តែង។

តាមរយៈបច្ចេកវិទ្យា cathodic arc ដែលត្រងដោយម៉ាញេទិក ប្រព័ន្ធថ្នាំកូតរឹង Zhenhua Vacuum FMA0605 កាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់អវិជ្ជមាននៃម៉ាក្រូភាគល្អិតដែលបង្កើតដោយធ្នូលើគែមកាត់ដ៏ល្អិតល្អន់។ ថ្នាំកូត ta-C ដ៏រឹងខ្ពស់ និងការកកិតទាបជួយពន្យារការពាក់មីក្រូខួង ធ្វើឱ្យគុណភាពរន្ធ PCB មានស្ថេរភាព និងកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការបាក់បែកមិនប្រក្រតី ដោយផ្តល់នូវការគាំទ្រឧបករណ៍ដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ការអភិវឌ្ឍដំណើរការថ្នាំកូតមីក្រូខួង PCB និងការផលិតបរិមាណច្រើន។

- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលីម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua