Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd қош келдіңіз.
жалғыз_баннер

Қуыс катодты қатты жабын жабдықтарының техникалық принципі қандай?

Мақаланың көзі: Чжэнхуа вакуумы
Оқығандар: 10
Жарияланған: 22-11-07

Иондық жабын деп реактивтер немесе буланған материалдар газ иондарының немесе буланған материалдардың иондық бомбалауы арқылы субстратқа тұндырылуын білдіреді, ал буланған материалдар диссоциацияланған немесе вакуумдық камерада газ шығарылады. Қуыс катодты қатты жабын жабдықтарының техникалық принципі қуыс катодты ионды жабын болып табылады, ол қуыс катодты разрядты тұндыру технологиясы болып табылады.

Қуыс катодты разрядты тұндыру принципі туралы: Қуыс катодты разрядты тұндыру әдісі плазмалық сәулені жасау үшін ыстық катодты разрядты пайдаланады, ал катод - қуыс тантал түтігі. Катод пен көмекші анод бір-біріне жақын орналасқан, олар доғаның разрядын тұтандыратын екі полюс болып табылады.
Шұңқырдың техникалық принципі қандай
Қуыс катодты тұндыру пистолеті екі жолмен тұтанады.
1, катод тантал түтігіне қолданылатын жоғары жиілікті электр өрісін пайдалану, осылайша катод тантал түтігі аргон газының аргон иондарына иондануы және содан кейін катодты тантал түтігі аргон иондарымен үздіксіз бомбалануы үшін, жылу электронды эмиссияның минималды температура стандартына дейін қызғанша және плазмалық электрон сәулесін жасайды.

2, Көмекші анод пен катодты тантал түтігінде шамамен 300 В тұрақты кернеуді қолдану арасында катодты тантал түтігі әлі де аргон газына өтеді, 1Па-10Па аргон газының қысымында, көмекші анод пен катодты тантал түтігінің жарқырауы разряд құбылысы, генерациялануы тұрақты бомбардтар, генерацияланатын бомбардтар. 2300K-2400K температураға дейін катод тантал түтігі электрондардың көп санын шығарады, «жарқырау разрядынан» «доғалық разрядқа» өзгереді, бұл жолы кернеу 30В-60В-қа дейін төмен болады, содан кейін қуат көзі арасындағы катод пен анод болғанша, сіз плазмалық электрон сәулесін жасай аласыз.

Катодты жабын жабдықтары
1、Мылтық құрылымын жақсартыңыз, бастапқы максималды ток 230А-дан 280А-ға дейін.
2、Түпнұсқалық салқындату жүйесінің құрылымын жақсартыңыз, бастапқы 4℃ мұзды су машинасының салқындатуынан бөлме температурасында салқындатқыш суды салқындатуға дейін пайдаланушылар үшін электр энергиясының құнын үнемдеңіз.
3, бастапқы механикалық беріліс құрылымын жақсартыңыз, магниттік сұйықтықты беру құрылымына өзгертілді, жоғары температура айналмалы жақтауды кептелмейді.
4, тиімді жабын аймағы ¢ 650X1100, 750 X 1250X600 үлкен өлшемді матрицаны және өте үлкен көлемді өте ұзын брошюраны өндірушілерді орналастыра алады.

Қуыс катодты ионды жабу машинасы негізінен құралдарды, қалыптарды, үлкен айна қалыптарын, пластикалық қалыптарды, пышақтарды және басқа да бұйымдарды қаптауда қолданылады.


Жіберу уақыты: 07 қараша 2022 ж