Фильмнің өсуіне қарсы тұру өте маңызды әсер етеді. Егер субстраттың бетінің кедір-бұдыры үлкен болса және бетіндегі ақаулармен көбірек біріктірілсе, ол пленканың бекітілуіне және өсу жылдамдығына әсер етеді. Сондықтан, вакуумдық жабын басталмас бұрын, субстраттың беткі қабатының бетінің кедір-бұдырының рөлін атқаратын субстрат алдын ала өңдеуден өтеді. Ультрадыбыстық араласудан кейін субстраттың беті жұқа пленка бөлшектерінің байланыс аймағын және субстрат бетін арттыратын шағын сызаттарды қалыптастырады, бұл ротордың формальдылығын және мембраналық негіздің комбинациясын айтарлықтай арттыруы мүмкін.
Субстрат материалдарының көпшілігі үшін субстраттың кедір-бұдырлығы азайған сайын пленка адгезиясы жоғарылайды, яғни мембраналық негізді байланыстыру күші күшейеді; Сондай-ақ, керамикалық негізді пленкамен бекіту сияқты ерекше жағдайлар болып табылатын кейбір субстрат материалдары бар. Төмендеген градус, яғни мембрана негізін байланыстыру күші әлсірейді.
Пленка мен пленкаға сәйкес келетін әсер етуші факторларда термиялық көлемдік коэффициент шешуші рөл атқарады. Пленканың термиялық кеңею коэффициенті матрицаның термиялық кеңею коэффициентінен үлкен болғанда, айналу моменті теріс, ал максималды кернеу еркін шекарада болады. Ол сығылу үшін орталықтың ортасына жақын және пленка қабатталған болып көрінуі мүмкін. Мысал ретінде шөгінді Skinus жұқа қабығын алайық. Алмаздың термиялық кеңею коэффициенті аз болғандықтан, газ фазасының тұндыру аяқталған кезде субстрат температурасы жоғары шөгінді температурадан бөлме температурасына дейін төмендейді, ал алмаздың жиырылуы субстратпен салыстырғанда азаяды. Ішінде үлкен термиялық кернеу пайда болады. Пленканың термиялық кеңею коэффициенті субстраттың қыздыру журналының коэффициентінен аз болғанда, момент оң болады, ал пленканы қабаттастыру оңай емес.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Хабарлама уақыты: 29 ақпан 2024 ж