Бүріккіш жабынның, әсіресе магнетронды шашыратқыш қаптау технологиясының өсіп келе жатқан дамуымен, қазіргі уақытта кез келген материалды иондық бомбалау нысана пленкасы арқылы дайындауға болады, себебі нысан оны субстраттың қандай да бір түріне жабу процесінде шашыранды болады, өлшенетін пленка сапасы маңызды әсер етеді, сондықтан мақсатты материалға қойылатын талаптар да қатаңырақ. Мақсатты материалды таңдауда, фильмнің өзін пайдаланудан басқа, келесі мәселелерді де ескеру қажет:
Мақсатты материал пленкадан кейін жақсы механикалық беріктік пен химиялық тұрақтылыққа ие болуы керек;
Мақсатты және субстрат мықтап біріктірілуі керек, әйтпесе ол субстратпен қабылдануы керек мембраналық қабаттың жақсы комбинациясы бар, алдымен базалық пленканы шашыратып, содан кейін қажетті мембраналық қабатты дайындау;
Реакция ретінде мембраналық материалға шашырау аралас пленканы жасау үшін газбен оңай әрекеттесу керек.
Мембрананың өнімділік талаптарын қанағаттандыру жағдайында мақсатты материал мен субстраттың термиялық кеңею коэффициенті арасындағы айырмашылық шашыраған мембранаға жылу кернеуінің әсерін барынша азайту үшін мүмкіндігінше аз болады.
Мембрананы пайдалану және өнімділік талаптарына сәйкес мақсатты материал тазалыққа, қоспалардың құрамына, құрамдас бөліктерінің біркелкілігіне, өңдеу дәлдігіне және басқа да техникалық талаптарға сай болуы керек.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 09 қаңтар 2024 ж