Резистентті қыздыру булану көзінің құрылымы қарапайым, пайдалану оңай, жасау оңай, булану көзінің ең көп қолданылатын түрі болып табылады. Адамдар әдетте жылу генераторы немесе булану қайығы деп аталады.
Қолданылатын төзімді материалдың жылыту талаптары: жоғары температура, меншікті кедергі, жоғары температурада төмен бу қысымы, мембраналық материалмен химиялық реакция жоқ, газ шығару мен ластануды тудырмайды. Негізінен W, Mo, Ta және басқа материалдар сияқты отқа төзімді металдардан немесе жоғары тазалықтағы, жоғары беріктіктегі графит немесе бор нитриді синтетикалық өткізгіш керамика және басқа материалдардан таңдалған қарсылық қыздыру материалдары. Кейде буланудың бастапқы материалы ретінде Fe, Ni, Ni-Cr қорытпасы және Pt таңдай алады.
Балқу температурасы мен бу қысымы мен температура қатынасының қисық сызығының жалпы материалдардың (мысалы, Ti, Mo, C, Ta, W және т.б.) әртүрлі қарсылық қыздыру булану көзі әртүрлі. Олардың ішінде вольфрам булану температурасына дейін қызған кезде сынғыш болады, себебі қыздыру қосылысы өнімі. Молибден, керісінше, тазалығы бойынша өзгереді, кейбіреулері сынғыш болады, ал басқалары болмайды. Вольфрам су буымен әрекеттесіп, WO3 ұшқыш оттегі қосылысын түзеді.
Сондықтан вольфрамды қалдық су буында қыздырғанда, қыздырылған материал үздіксіз сарқылады. Қалдық газ қысымы төмен болған кезде материалдық шығын көп болмайды, бірақ бұл мембрананың ауыр ластануы.
Жіпті көздерді пайдалану мембраналық материалдағы ыстық сымның сулануына назар аудару керек. Мысалы, ыстық сымның температурасы тым тез көтеріледі, мембраналық материал бірден мембраналық материалдың барлығын еріту оңай емес және ыстық сымның сулануы жеткіліксіз. Нәтижесінде балқымаған пленка сым себетінен түсіп кетуі мүмкін. Сонымен қатар, температураның тым жылдам көтерілуі, сонымен қатар газдағы мембраналық материалдың тез бөлінуіне себеп болады, нәтижесінде көпіршіктер немесе шашырау пайда болады, нәтижесінде субстратқа жабысатын ұсақ тамшылар пайда болады. Сондықтан жіп көздерін температураны бақылаумен пайдалану керек.
Сым себеттерінің, конустық катушкалардың немесе спиральды катушкалардың негізгі кемшілігі - тірек пленкалық материалдың мөлшері тым аз және бұл көз пленка материалы буланғаннан кейін пленка материалының мөлшері азайған кезде ыстық сымның температурасының жоғарылауына әкеледі, осылайша булану жылдамдығының жоғарылауына әкеледі. Бұл сонымен қатар булану жылдамдығын қатаң бақылауды қажет ететін пленка жасау процесінде ескеру қажет мәселе.
(2) Жұмыс принципі мен құрылымының пішіні мен пайдалану сипаттамасы
Резистантты қыздырудың булану көзі, шын мәнінде, қарсылық қыздырғыш болып табылады, ол жылу генераторын немесе булану қайығын тікелей қуаттандыратын, сондықтан ток көп Джоуль жылуы арқылы өтеді және металл пленкалық материалды балқыту үшін жоғары температураны алады, осылайша оның булануы булану көзі болып табылады.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 23 ақпан 2024 ж