მაგნეტრონული გაფრქვევა ძირითადად მოიცავს განმუხტვის პლაზმის ტრანსპორტირებას, სამიზნის გრავირებას, თხელი ფენის დეპონირებას და სხვა პროცესებს, მაგნიტური ველი გავლენას ახდენს მაგნეტრონული გაფრქვევის პროცესზე. მაგნეტრონული გაფრქვევის სისტემაში ორთოგონალური მაგნიტური ველის გარდა, ელექტრონები ექვემდებარებიან ლორენცის ძალის როლს და ასრულებენ სპირალურ ტრაექტორიას, უნდა გაიარონ მუდმივი შეჯახება ანოდში თანდათანობით გადასასვლელად, შეჯახების გამო, ელექტრონების ნაწილი ანოდში მისასვლელად მცირე ენერგიის გამო, სუბსტრატზე დაბომბვის სითბოც დიდი არ არის. გარდა ამისა, სამიზნის მაგნიტური ველის მიერ ელექტრონების შეზღუდვების გამო, სამიზნის ზედაპირზე განმუხტვის ასაფრენ ბილიკზე მდებარე რეგიონის მაგნიტური ეფექტის ეს ლოკალური მცირე დიაპაზონის ელექტრონების კონცენტრაცია ძალიან მაღალია, ხოლო სუბსტრატის ზედაპირის გარეთ მდებარე რეგიონის მაგნიტურ ეფექტში, განსაკუთრებით ზედაპირთან ახლოს მაგნიტური ველისგან მოშორებით, ელექტრონების კონცენტრაცია დისპერსიის გამო გაცილებით დაბალია და შედარებით ერთგვაროვანია განაწილებით, და კიდევ უფრო დაბალია, ვიდრე დიპოლური გაფრქვევის პირობებში (ორი სამუშაო აირის წნევის სხვაობის გამო, რომელიც სიდიდის რიგის ბრძანებით არის). სუბსტრატის ზედაპირის დაბომბვისას ელექტრონების დაბალი სიმკვრივე იწვევს სუბსტრატის დაბომბვას, რაც მაგნეტრონის გაფრქვევის მთავარი მექანიზმია სუბსტრატის ტემპერატურის მატებისას. გარდა ამისა, თუ მხოლოდ ელექტრული ველია, ელექტრონები ანოდს ძალიან მოკლე მანძილის შემდეგ აღწევენ და სამუშაო აირთან შეჯახების ალბათობა მხოლოდ 63.8%-ია. მაგნიტური ველის დამატებით, ანოდში გადაადგილების პროცესში მყოფი ელექტრონები სპირალურ მოძრაობას ასრულებენ, მაგნიტური ველი შემოიფარგლება და აფართოებს ელექტრონების ტრაექტორიას, რაც მნიშვნელოვნად ზრდის ელექტრონებსა და სამუშაო აირებს შორის შეჯახების ალბათობას, რაც მნიშვნელოვნად უწყობს ხელს იონიზაციის წარმოქმნას, იონიზაციას და შემდეგ ელექტრონების წარმოქმნას, რომლებიც ასევე შეუერთდებიან შეჯახების პროცესს, შეჯახების ალბათობა შეიძლება გაიზარდოს რამდენიმე სიდიდით, რაც ეფექტურად იყენებს ელექტრონების ენერგიას და ამით წარმოქმნის მაღალი სიმკვრივის პლაზმის სიმკვრივეს. პლაზმის ანომალიური ნათების განმუხტვის შედეგად იზრდება პლაზმის სიმკვრივე. ასევე იზრდება სამიზნიდან ატომების გამოფრქვევის სიჩქარე და დადებითი იონებით სამიზნის დაბომბვით გამოწვეული სამიზნის გაფრქვევა უფრო ეფექტურია, რაც მაგნეტრონული გაფრქვევით დალექვის მაღალი სიჩქარის მიზეზია. გარდა ამისა, მაგნიტური ველის არსებობამ ასევე შეიძლება გამოიწვიოს გაფრქვევის სისტემის მუშაობა დაბალი ჰაერის წნევით, ჰაერის დაბალი წნევით 1-ის შემთხვევაში, შესაძლებელია გარსის ფენის რეგიონში იონების შეჯახების შემცირება, სამიზნის შედარებით დიდი კინეტიკური ენერგიით დაბომბვა და დღის განმავლობაში გაფრქვეული სამიზნის ატომებისა და ნეიტრალური აირის შეჯახების შემცირება, რათა თავიდან იქნას აცილებული სამიზნის ატომების გაფანტვა მოწყობილობის კედელზე ან სამიზნის ზედაპირზე უკან დაბრუნება, რაც აუმჯობესებს თხელი ფენის დალექვის სიჩქარეს და ხარისხს.
სამიზნის მაგნიტურ ველს შეუძლია ეფექტურად შეზღუდოს ელექტრონების ტრაექტორია, რაც თავის მხრივ გავლენას ახდენს პლაზმის თვისებებზე და სამიზნეზე იონების გრავირებაზე.
კვალი: სამიზნის მაგნიტური ველის ერთგვაროვნების გაზრდა ზრდის სამიზნის ზედაპირის გრავირების ერთგვაროვნებას, რითაც აუმჯობესებს სამიზნის მასალის გამოყენებას; ელექტრომაგნიტური ველის გონივრულ განაწილებას ასევე შეუძლია ეფექტურად გააუმჯობესოს გაფრქვევის პროცესის სტაბილურობა. ამიტომ, მაგნიტრონული გაფრქვევის სამიზნისთვის, მაგნიტური ველის ზომა და განაწილება უაღრესად მნიშვნელოვანია.
- ეს სტატია გამოქვეყნებულიავაკუუმური საფარის მანქანის მწარმოებელიგუანგდონგ ჟენხუა
გამოქვეყნების დრო: 2023 წლის 14 დეკემბერი