真空コーティングプロセスにおける適用環境の要件は何ですか？

真空コーティングプロセスには、適用環境に関する厳しい要件があります。従来の真空プロセスの場合、真空衛生に関する主な要件は次のとおりです。真空内の装置の部品または表面に蓄積された汚染源がないこと、真空チャンバーの表面が滑らかで、軟組織、気孔、および角の隙間がないこと、真空装置内の溶接が真空に影響を与えないこと、および高真空装置が潤滑剤として油を使用しないこと。オイルフリー超高真空システムは、油蒸気が作業媒体の純度、作業性能、または表面特性に影響を与えないようにする必要があります。超高真空金属システムでは、構造材料として1Cr18Ni9Tiがよく使用されます。真空コーティング装置がある実験室または作業場は、清潔で衛生的に保たれている必要があります。

真空コーティングの工程において、表面洗浄処理は非常に重要です。基本的に、すべての基材をコーティング用真空チャンバーに投入する前に、ワークピースの脱脂、除染、脱水を行うための前処理洗浄工程を経る必要があります。

めっき部品の表面汚染の主な原因は、加工、輸送、包装などの工程で付着する塵埃、汗、グリース、研磨ペースト、油、潤滑油などの物質、機器部品の表面に吸着・吸収されるガス、湿った空気中でめっき機の部品表面に形成される酸化皮膜などです。これらの汚染源による汚染のほとんどは、脱脂または化学洗浄によって除去できます。

洗浄済みの加工品は、大気中に保管しないでください。粉塵汚染を減らし、加工品の保管場所を清潔に保つため、加工品は洗浄キャビネットや密閉容器に入れて保管してください。ガラス基板は、炭化水素蒸気の吸着を減らすため、酸化処理したばかりのアルミ容器に保管する必要があります。酸化処理したばかりのアルミ容器は、炭化水素を優先的に吸着するためです。水蒸気に敏感な表面や非常に不安定な表面は、通常、真空乾燥炉に保管します。

真空めっき工程における環境に関する基本的な要件は、主に真空室内の高清浄度、めっき室内の無塵性などです。地域によっては空気湿度が高いため、めっき前に基板や真空チャンバー内の部品を洗浄するだけでなく、ベーキングや脱ガス処理も必要となります。さらに、油が真空チャンバー内に侵入するのを防ぐため、給油拡散ポンプのオイル戻りやオイル遮断対策にも注意を払う必要があります。