真空コーティングプロセスの適用環境に関する要件は何ですか

真空コーティングプロセスには、塗布環境に対する厳しい要件があります。従来の真空プロセスの場合、真空衛生の主な要件は次のとおりです。 真空中の装置の部品や表面に汚染源が蓄積していないこと、真空チャンバーの表面が滑らかで、軟組織、孔、隅のスペースがないことしたがって、真空機械の溶接は真空に影響を与えず、高真空機械は潤滑剤としてオイルを使用しません。オイルフリーの超高真空システムでは、作動媒体の純度、作動性能、または表面特性に対するオイル蒸気の影響を回避する必要があります。超高真空金属システムでは、構造材料として 1Cr18Ni9Ti がよく使用されます。真空コーティング機を清潔で衛生的に保つ必要がある研究室または作業場。

真空塗装の工程では、表面の洗浄処理が非常に重要です。基本的に、すべての基板はコーティング真空チャンバーにロードされる前に、ワークピースの脱脂、汚染除去、脱水を行うためにメッキ前洗浄プロセスを通過する必要があります。

めっき部品の表面汚染の主な原因は次のとおりです。加工、輸送、梱包などのプロセス中に、ほこり、汗、グリース、研磨ペースト、油、潤滑油などが付着します。機器部品の表面に吸着・吸着したガス。湿った空気中で塗装機の部品表面に形成される酸化皮膜。これらの汚染源からの汚染のほとんどは、脱脂または化学洗浄によって除去できます。

洗浄したワークを大気環境に保管しないでください。粉塵汚染を軽減し、ワークピースの保管場所を清潔にするために、ワークピースの保管にはクリーニングキャビネットまたは密閉容器を使用することがよくあります。ガラス基板は、炭化水素蒸気の吸着を減らすことができる、新たに酸化したアルミニウム容器に保管する必要があります。新たに酸化されたアルミニウム容器は炭化水素を優先的に吸着するためです。水蒸気に敏感な表面や非常に不安定な表面は、通常、真空乾燥オーブンに保管されます。

真空コーティングプロセスの環境に対する基本的な要件には、主に真空室の清浄度が高いこと、コーティング室に塵がないことなどが挙げられます。一部の地域では空気湿度が比較的高いため、めっき前に清掃する必要があるだけでなく、基板と真空チャンバー内のコンポーネントだけでなく、ベーキングと脱ガス作業も行う必要があります。また、真空室内への油の侵入を防ぐため、給油用拡散ポンプの油戻りや油詰まり対策にも注意が必要です。