Раванди пӯшонидани вакуумӣ талаботи қатъӣ барои муҳити истифода дорад. Барои раванди анъанавии вакуумӣ, талаботи асосии он барои тозакунии вакуумӣ инҳоянд: дар қисмҳо ё сатҳи таҷҳизот дар вакуум манбаи ифлосшавии ҷамъшуда вуҷуд надорад, сатҳи камераи вакуумӣ ҳамвор ва аз бофтаҳои нарм, сӯрохиҳо ва фазои кунҷӣ холӣ аст, аз ин рӯ кафшер дар мошини вакуумӣ ба вакуум таъсир намерасонад ва мошини вакуумии баланд набояд равғанро ҳамчун равған истифода барад. Системаи вакуумии ултрабаланд бидуни равған бояд аз таъсири буғи равған ба покӣ, кори корӣ ё хусусиятҳои сатҳи муҳити корӣ худдорӣ кунад. Системаи металлии вакуумии ултрабаланд аксар вақт 1Cr18Ni9Ti-ро ҳамчун маводи сохторӣ истифода мебарад. Лаборатория ё коргоҳе, ки дар он мошини пӯшонидани вакуумӣ бояд тоза ва санитарӣ нигоҳ дошта шавад.
Дар раванди пӯшонидани вакуумӣ, тозакунии сатҳ хеле муҳим аст. Асосан, пеш аз бор кардани ҳамаи субстратҳо ба камераи вакуумии пӯшонидани рӯйпӯш, онҳо бояд раванди тозакунии пеш аз рӯйпӯшкуниро гузаранд, то тозакунии равған, безараргардонӣ ва хушкшавии қисми корӣ ба даст оварда шавад.
Манбаъҳои асосии ифлосшавии сатҳи қисмҳои рӯйпӯшшуда инҳоянд: чанг, арақ, равған, хамираи сайқалдиҳанда, равған, равғани молиданӣ ва дигар моддаҳое, ки ҳангоми коркард, интиқол, бастабандӣ ва дигар равандҳо ба онҳо часпида мешаванд; Газ дар сатҳи қисмҳои таҷҳизот адсорбсия ва ҷаббида мешавад; Плёнкаи оксидӣ, ки дар сатҳи қисмҳои мошини рӯйпӯшкунӣ дар ҳавои тар ба вуҷуд омадааст. Барои ифлосшавӣ аз ин манбаъҳо, аксари онҳоро бо роҳи тозакунии равған ё тозакунии кимиёвӣ тоза кардан мумкин аст.
Қисмҳои тозашударо дар муҳити атмосфера нигоҳ надоред. Барои кам кардани ифлосшавии чанг ва тоза кардани анборҳои қисмҳои корӣ, аксар вақт барои нигоҳ доштани қисмати корӣ аз ҷевонҳои тозакунанда ё зарфҳои пӯшида истифода баред. Табақаи шишагӣ бояд дар зарфи алюминии нав оксидшуда нигоҳ дошта шавад, ки метавонад адсорбсияи буғи карбогидридҳоро кам кунад. Зеро зарфҳои алюминии нав оксидшуда карбогидридҳоро афзалтар адсорбсия мекунанд. Сатҳҳое, ки ба буғи об ҳассосанд ё хеле ноустуворанд, одатан дар танӯри хушккунии вакуумӣ нигоҳ дошта мешаванд.
Талаботи асосии раванди пӯшонидани вакуумӣ ба муҳити зист асосан инҳоянд: тозагии баланд дар утоқи вакуумӣ, тозагии чанг дар утоқи пӯшонидани ва ғайра. Дар баъзе минтақаҳо намӣ нисбатан баланд аст, аз ин рӯ пеш аз пӯшонидани вакуумӣ, на танҳо ҷузъҳои субстрат ва камераи вакуумро тоза кардан лозим аст, балки корҳои нонпазӣ ва дегазатсияро низ анҷом додан лозим аст. Илова бар ин, барои пешгирӣ аз ворид шудани равған ба камераи вакуумӣ, инчунин зарур аст, ки ба чораҳои бозгашти равған ва бастани равғани насоси диффузионии сӯзишворӣ диққат диҳед.
Вақти нашр: 18 феврали соли 2023