진공 코팅 공정은 적용 환경에 대한 요구 사항이 매우 엄격합니다. 일반적인 진공 공정의 경우, 진공 위생에 대한 주요 요구 사항은 다음과 같습니다. 진공 내부 장비의 부품이나 표면에 오염 물질이 축적되지 않아야 하고, 진공 챔버 표면은 매끄럽고 연조직, 기공, 모서리 공간이 없어야 하며, 진공 장비 내부의 용접 부위가 진공에 영향을 미치지 않아야 합니다. 또한 고진공 장비는 윤활유로 오일을 사용해서는 안 됩니다. 오일 프리 초고진공 시스템은 오일 증기가 작업 매체의 순도, 작업 성능 또는 표면 특성에 영향을 미치지 않도록 해야 합니다. 초고진공 금속 코팅 시스템은 일반적으로 1Cr18Ni9Ti를 구조 재료로 사용합니다. 진공 코팅 장비가 설치된 실험실이나 작업장은 청결하고 위생적으로 유지되어야 합니다.
진공 코팅 공정에서 표면 세척 처리는 매우 중요합니다. 기본적으로 모든 기판은 코팅 진공 챔버에 넣기 전에 탈지, 오염 제거 및 탈수를 위한 사전 도금 세척 과정을 거쳐야 합니다.
도금 부품 표면 오염의 주요 원인은 다음과 같습니다. 가공, 운송, 포장 등의 과정에서 먼지, 땀, 그리스, 연마제, 오일, 윤활유 등의 물질이 표면에 부착됩니다. 또한 장비 부품 표면에 흡착되는 가스와 습한 공기 중에서 도금 장비 부품 표면에 형성되는 산화막도 오염의 원인이 됩니다. 이러한 오염원들은 대부분 탈지 또는 화학 세척으로 제거할 수 있습니다.
세척된 가공품은 대기 중에 보관하지 마십시오. 먼지 오염을 줄이고 가공품을 청결하게 보관하기 위해 세척 캐비닛이나 밀폐 용기를 사용하는 것이 좋습니다. 유리 기판은 탄화수소 증기 흡착을 줄이기 위해 새로 산화 처리된 알루미늄 용기에 보관해야 합니다. 새로 산화 처리된 알루미늄 용기는 탄화수소를 우선적으로 흡착하기 때문입니다. 수증기에 민감하거나 매우 불안정한 표면은 일반적으로 진공 건조 오븐에 보관합니다.
진공 도금 공정의 환경적 기본 요구 사항은 주로 진공실의 높은 청결도, 도금실의 무진동 등을 포함합니다. 일부 지역에서는 공기 습도가 비교적 높기 때문에 도금 전에 기판과 진공실 내부의 부품을 세척하는 것뿐만 아니라 베이킹 및 탈기 작업도 수행해야 합니다. 또한, 오일이 진공실로 유입되는 것을 방지하기 위해 오일 공급 확산 펌프의 오일 회수 및 오일 차단 조치에도 주의를 기울여야 합니다.
게시 시간: 2023년 2월 18일