Le procédé de revêtement sous vide impose des exigences strictes quant à son environnement d'application. Pour le procédé sous vide conventionnel, les principales exigences en matière d'hygiène du vide sont les suivantes : absence de toute source de pollution accumulée sur les pièces ou la surface de l'équipement sous vide ; surface de la chambre à vide lisse et exempte de particules molles, de pores et d'angles, afin que les soudures dans la machine sous vide n'affectent pas le vide ; et interdiction d'utiliser de l'huile comme lubrifiant dans les machines à ultra-vide. Les systèmes à ultra-vide sans huile doivent éviter toute influence des vapeurs d'huile sur la pureté, les performances ou les caractéristiques de surface du fluide de travail. Les systèmes métalliques à ultra-vide utilisent souvent l'alliage 1Cr18Ni9Ti comme matériau de structure. Le laboratoire ou l'atelier où se trouve la machine de revêtement sous vide doit être maintenu propre et hygiénique.
Lors du procédé de revêtement sous vide, le nettoyage de surface est primordial. En effet, avant d'être introduits dans la chambre de revêtement sous vide, les substrats doivent subir un prétraitement afin d'assurer leur dégraissage, leur décontamination et leur déshydratation.
Les principales sources de pollution de surface des pièces plaquées sont : la poussière, la transpiration, la graisse, la pâte à polir, l’huile, l’huile de lubrification et autres substances qui adhèrent lors des opérations de traitement, de transport, d’emballage et autres ; les gaz adsorbés et absorbés par la surface des pièces de l’équipement ; et le film d’oxyde qui se forme sur la surface des pièces de la machine de revêtement en air humide. La plupart de ces polluants peuvent être éliminés par dégraissage ou nettoyage chimique.
Ne pas entreposer les pièces nettoyées à l'air libre. Afin de limiter la contamination par la poussière et d'assurer une bonne hygiène lors de leur stockage, il est recommandé d'utiliser des armoires de nettoyage ou des conteneurs fermés. Les substrats en verre doivent être conservés dans un conteneur en aluminium fraîchement oxydé, ce qui réduit l'adsorption de vapeurs d'hydrocarbures. En effet, les conteneurs en aluminium fraîchement oxydé ont tendance à adsorber préférentiellement les hydrocarbures. Les surfaces sensibles à la vapeur d'eau ou très instables sont généralement conservées dans une étuve sous vide.
Les exigences environnementales fondamentales du procédé de revêtement sous vide comprennent principalement : une propreté irréprochable de la salle à vide et l'absence de poussière dans la salle de revêtement. Dans certaines régions, l'humidité ambiante étant relativement élevée, il est nécessaire, avant le dépôt, de nettoyer les composants sur le substrat et dans la chambre à vide, puis de procéder à un étuvage et à un dégazage. De plus, afin d'empêcher toute pénétration d'huile dans la chambre à vide, il convient de veiller au bon fonctionnement du système de retour d'huile et au blocage de l'arrivée d'huile de la pompe à diffusion de réalimentation.
Date de publication : 18 février 2023