Wakuum örtük prosesi ulanyş gurşawy üçin berk talaplara eýedir. Adaty wakuum prosesi üçin wakuum arassaçylygy üçin esasy talaplar: wakuumdaky enjamlaryň böleklerinde ýa-da ýüzünde toplanan hapalanma çeşmesi ýok, wakuum kamerasynyň ýüzi tekiz we ýumşak dokumalardan, gözeneklerden we burç boşluklaryndan azat, şonuň üçin wakuum maşynyndaky kebşirleme wakuuma täsir etmez we ýokary wakuum maşyny ýaglaýjy hökmünde ýagy ulanmaly däldir. Ýagsyz ultra ýokary wakuum ulgamy işçi gurşawyň arassalygyna, iş öndürijiligine ýa-da ýüz häsiýetlerine ýag bugunyň täsirinden gaça durmalydyr. Ultra ýokary wakuum metal ulgamy köplenç gurluşyk materialy hökmünde 1Cr18Ni9Ti ulanýar. Wakuum örtük maşynynyň ýerleşýän ýerindäki laboratoriýa ýa-da ussahana arassa we arassa saklanmalydyr.
Wakuum örtük prosesinde ýüzi arassalamak örän möhümdir. Esasan hem, ähli substratlar örtük wakuum kamerasyna ýüklenmezden öň, iş böleginiň ýagyny aýyrmak, zyýansyzlandyrmak we suwsuzlandyrmak üçin öňünden örtük arassalamak prosesinden geçmelidir.
Plitlenen bölekleriň ýüzleý hapalanmagynyň esasy çeşmeleri: gaýtadan işlemek, ibermek, gaplamak we beýleki prosesler wagtynda tozan, ter, ýag, jylawlaýjy pasta, ýag, çalgylaýjy ýagy we beýleki maddalar ýapyşar; Enjam bölekleriniň ýüzünde adsorbsiýa edilen we siňdirilen gaz; Çygly howada örtük maşynynyň bölekleriniň ýüzünde emele gelen oksid plýonkasy. Bu çeşmelerden hapalanmak üçin olaryň köpüsini ýagsyzlandyrmak ýa-da himiki arassalamak arkaly aýryp bolýar.
Arassalanan iş böleklerini atmosfera gurşawynda saklamaň. Tozan hapalanmagyny azaltmak we iş bölekleriniň saklanýan ýerini arassalamak üçin, iş bölegini saklamak üçin köplenç arassalaýjy şkaflary ýa-da ýapyk gaplary ulanyň. Aýna substraty täze oksidlenen alýumin gapda saklanmaly, bu bolsa uglewodorod bugunyň adsorbsiýasyny azaldyp biler. Sebäbi täze oksidlenen alýumin gaplar uglewodorodlary has gowy adsorbsiýa eder. Suw buguna duýgur ýa-da örän durnuksyz ýüzler adatça wakuum guradyjy peçde saklanýar.
Wakuum örtük prosesiniň daşky gurşawa goýýan esasy talaplary, esasan, şunlary öz içine alýar: wakuum otagynda ýokary arassaçylyk, örtük otagynda tozansyzlyk we ş.m. Käbir ýerlerde howanyň çyglylygy deňeşdirme boýunça ýokary bolýar, şonuň üçin örtükden öň diňe substratdaky we wakuum kamerasyndaky bölekleri arassalamak bilen çäklenmän, eýsem bişirmek we gazdan aýyrmak işlerini hem ýerine ýetirmek gerek. Mundan başga-da, ýagyň wakuum kamerasyna girmeginiň öňüni almak üçin, ýangyç guýujy diffuziýa nasosynyň ýagyň yzyna gaýdyp gelmegine we ýagyň öňüni almaga üns bermek zerurdyr.
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 18-nji fewraly