La vakua tega procezo havas striktajn postulojn por la aplika medio.Por la konvencia vakua procezo, ĝiaj ĉefaj postuloj por vakua kloakigo estas: ne ekzistas akumulita poluofonto sur la partoj aŭ surfaco de la ekipaĵo en la vakuo, la surfaco de la vakua ĉambro estas glata kaj libera de mola histo, poroj kaj angula spaco. , do la veldo en la vakua maŝino ne influos la vakuon, kaj la alta malplena maŝino ne uzos oleon kiel lubrikaĵon.La senolea ultra-alta vakua sistemo devus eviti la influon de oleo-vaporo sur la pureco, laborefikeco aŭ surfacaj trajtoj de la labormedio.La ultra-alta malplena metala sistemo ofte uzas 1Cr18Ni9Ti kiel la strukturan materialon.La laboratorio aŭ laborejo kie la vakua tega maŝino devas esti konservita pura kaj sanitara.
En la procezo de vakua tegado, la surfaca purigado estas tre grava.Esence, antaŭ ol ĉiuj substratoj estas ŝarĝitaj en la tegan vakuan ĉambron, ili devas trapasi la antaŭ-tegan purigan procezon por atingi la sengrasigon, senpoluadon kaj malhidratigon de la laborpeco.
La ĉefaj fontoj de surfaca poluado de tegitaj partoj estas: polvo, ŝvito, graso, polura pasto, oleo, lubrika oleo kaj aliaj substancoj estos aligitaj dum prilaborado, transdono, pakado kaj aliaj procezoj;Gaso adsorbita kaj sorbita sur la surfaco de ekipaĵoj;La oksida filmo formiĝis sur la surfaco de la partoj de la tegmaŝino en malseka aero.Por poluado de ĉi tiuj fontoj, la plej granda parto de ili povas esti forigita per grasigado aŭ kemia purigado.
Ne stoku purigitajn laborpecojn en la atmosfera medio.Por redukti polvopoluadon kaj purigi la stokadon de laborpecoj, ofte uzu purigajn kabinetojn aŭ fermitajn ujojn por stoki la laborpecon.La vitra substrato devas konservi en ĵus oksidita aluminia ujo, kiu povas redukti la adsorbadon de hidrokarbona vaporo.Ĉar lastatempe oksigenitaj aluminiaj ujoj prefere adsorbos hidrokarbidojn.Surfacoj sentemaj al akvovaporo aŭ tre malstabilaj estas kutime stokitaj en vakua sekiga forno.
La bazaj postuloj de la vakua tega procezo sur la medio ĉefe inkluzivas: alta pureco en la vakuoĉambro, senpolvo en la vakua ĉambro, ktp. En iuj lokoj, la aera humideco estas relative alta, do antaŭ tegado, ne nur bezonas purigi. la komponantoj en la substrato kaj malplena ĉambro, sed ankaŭ bezonas fari la bakadon kaj degasan laboron.Krome, por malhelpi oleon eniri la vakuan ĉambron, ankaŭ necesas atenti la oleo-revenon kaj oleo-blokajn mezurojn de la benzinuma difuzpumpilo.
Afiŝtempo: Feb-18-2023