Der Vakuumbeschichtungsprozess stellt strenge Anforderungen an die Anwendungsumgebung.Für den herkömmlichen Vakuumprozess gelten folgende Hauptanforderungen für die Vakuumhygiene: Es gibt keine angesammelte Verschmutzungsquelle auf den Teilen oder der Oberfläche der im Vakuum befindlichen Ausrüstung, die Oberfläche der Vakuumkammer ist glatt und frei von Weichgewebe, Poren und Eckräumen , damit die Schweißung in der Vakuummaschine das Vakuum nicht beeinträchtigt und die Hochvakuummaschine kein Öl als Schmiermittel verwenden darf.Das ölfreie Ultrahochvakuumsystem soll den Einfluss von Öldampf auf die Reinheit, Arbeitsleistung oder Oberflächenbeschaffenheit des Arbeitsmediums vermeiden.Das Ultrahochvakuum-Metallsystem verwendet häufig 1Cr18Ni9Ti als Strukturmaterial.Das Labor oder die Werkstatt, in der die Vakuumbeschichtungsmaschine sauber und hygienisch gehalten werden soll.
Bei der Vakuumbeschichtung ist die Oberflächenreinigungsbehandlung sehr wichtig.Grundsätzlich müssen alle Substrate, bevor sie in die Beschichtungsvakuumkammer geladen werden, den Reinigungsprozess vor der Beschichtung durchlaufen, um die Entfettung, Dekontamination und Austrocknung des Werkstücks zu erreichen.
Die Hauptquellen der Oberflächenverschmutzung plattierter Teile sind: Staub, Schweiß, Fett, Polierpaste, Öl, Schmieröl und andere Substanzen, die während der Verarbeitung, Übertragung, Verpackung und anderen Prozessen anhaften;An der Oberfläche von Geräteteilen adsorbiertes und absorbiertes Gas;Der Oxidfilm bildete sich in feuchter Luft auf der Oberfläche der Teile der Beschichtungsmaschine.Verschmutzungen aus diesen Quellen können größtenteils durch Entfetten oder chemische Reinigung entfernt werden.
Lagern Sie gereinigte Werkstücke nicht in der atmosphärischen Umgebung.Um die Staubbelastung zu reduzieren und die Lagerung der Werkstücke zu reinigen, werden häufig Reinigungsschränke oder geschlossene Behälter zur Lagerung der Werkstücke verwendet.Das Glassubstrat muss in einem frisch oxidierten Aluminiumbehälter gelagert werden, was die Adsorption von Kohlenwasserstoffdämpfen verringern kann.Denn frisch oxidierte Aluminiumbehälter adsorbieren bevorzugt Kohlenwasserstoffe.Wasserdampfempfindliche oder sehr instabile Oberflächen werden üblicherweise in einem Vakuumtrockenschrank gelagert.
Zu den Grundanforderungen des Vakuumbeschichtungsprozesses an die Umgebung gehören vor allem: hohe Sauberkeit im Vakuumraum, Staubfreiheit im Beschichtungsraum usw. In einigen Bereichen ist die Luftfeuchtigkeit relativ hoch, sodass vor dem Galvanisieren nicht nur eine Reinigung erforderlich ist die Komponenten im Substrat und in der Vakuumkammer, müssen aber auch die Back- und Entgasungsarbeiten übernehmen.Um zu verhindern, dass Öl in die Vakuumkammer gelangt, ist außerdem auf die Ölrücklauf- und Ölblockierungsmaßnahmen der Betankungsdiffusionspumpe zu achten.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 18. Februar 2023