Proses pelapisan vakum memiliki persyaratan ketat untuk lingkungan aplikasinya. Untuk proses vakum konvensional, persyaratan utama untuk sanitasi vakum adalah: tidak ada sumber polusi yang terakumulasi pada bagian atau permukaan peralatan di dalam vakum, permukaan ruang vakum halus dan bebas dari jaringan lunak, pori-pori, dan ruang sudut, sehingga pengelasan di dalam mesin vakum tidak akan memengaruhi vakum, dan mesin vakum tinggi tidak boleh menggunakan oli sebagai pelumas. Sistem vakum ultra-tinggi bebas oli harus menghindari pengaruh uap oli terhadap kemurnian, kinerja kerja, atau karakteristik permukaan media kerja. Sistem logam vakum ultra-tinggi sering menggunakan 1Cr18Ni9Ti sebagai material struktural. Laboratorium atau bengkel tempat mesin pelapisan vakum berada harus dijaga kebersihan dan sanitasinya.
Dalam proses pelapisan vakum, perawatan pembersihan permukaan sangat penting. Pada dasarnya, sebelum semua substrat dimasukkan ke dalam ruang vakum pelapisan, substrat tersebut harus melalui proses pembersihan pra-pelapisan untuk mencapai penghilangan lemak, dekontaminasi, dan dehidrasi benda kerja.
Sumber utama polusi permukaan pada bagian yang dilapisi adalah: debu, keringat, gemuk, pasta poles, oli, oli pelumas, dan zat-zat lain yang menempel selama pemrosesan, transmisi, pengemasan, dan proses lainnya; gas yang terserap dan teradsorpsi pada permukaan bagian peralatan; lapisan oksida yang terbentuk pada permukaan bagian mesin pelapis di udara lembap. Untuk polusi dari sumber-sumber ini, sebagian besar dapat dihilangkan dengan penghilangan gemuk atau pembersihan kimia.
Jangan menyimpan benda kerja yang telah dibersihkan di lingkungan terbuka. Untuk mengurangi kontaminasi debu dan menjaga kebersihan penyimpanan benda kerja, sering-seringlah menggunakan lemari pembersih atau wadah tertutup untuk menyimpan benda kerja. Substrat kaca perlu disimpan dalam wadah aluminium yang baru dioksidasi, yang dapat mengurangi penyerapan uap hidrokarbon. Karena wadah aluminium yang baru dioksidasi akan lebih mudah menyerap hidrokarbon. Permukaan yang sensitif terhadap uap air atau sangat tidak stabil biasanya disimpan dalam oven pengering vakum.
Persyaratan dasar proses pelapisan vakum terhadap lingkungan terutama meliputi: kebersihan tinggi di ruang vakum, bebas debu di ruang pelapisan, dll. Di beberapa daerah, kelembaban udara relatif tinggi, sehingga sebelum pelapisan, tidak hanya perlu membersihkan komponen pada substrat dan ruang vakum, tetapi juga perlu melakukan pemanasan dan penghilangan gas. Selain itu, untuk mencegah minyak masuk ke ruang vakum, perlu juga memperhatikan tindakan pengembalian minyak dan penyumbatan minyak pada pompa difusi pengisian ulang.
Waktu posting: 18 Februari 2023