Процесс вакуумного напыления предъявляет строгие требования к условиям эксплуатации. Для традиционного вакуумного процесса основные требования к санитарным условиям вакуума следующие: отсутствие источников загрязнения на деталях или поверхности оборудования в вакууме; гладкая поверхность вакуумной камеры, свободная от мягких тканей, пор и углов, чтобы сварные швы в вакуумной машине не влияли на вакуум; использование масла в качестве смазки в высоковакуумной машине. В безмасляной сверхвысоковакуумной системе следует избегать влияния паров масла на чистоту, рабочие характеристики или свойства поверхности рабочей среды. В сверхвысоковакуумных системах для нанесения металлических покрытий часто используется сплав 1Cr18Ni9Ti. Лаборатория или цех, где находится вакуумная установка для напыления, должны содержаться в чистоте и санитарных условиях.
В процессе вакуумного нанесения покрытия очень важна предварительная очистка поверхности. В основном, перед загрузкой всех подложек в вакуумную камеру для нанесения покрытия, они должны пройти предварительную очистку, включающую обезжиривание, удаление загрязнений и обезвоживание заготовки.
Основными источниками загрязнения поверхности гальванизированных деталей являются: пыль, пот, смазка, полировальная паста, масло, смазочное масло и другие вещества, которые оседают на них в процессе обработки, транспортировки, упаковки и других процессов; газы, адсорбированные и абсорбированные на поверхности деталей оборудования; оксидная пленка, образующаяся на поверхности деталей, обработанных на красильной машине, во влажном воздухе. Большинство загрязнений от этих источников можно удалить обезжириванием или химической очисткой.
Не храните очищенные заготовки в атмосферных условиях. Для уменьшения пылевого загрязнения и обеспечения чистоты хранения заготовок, как правило, используются шкафы для очистки или закрытые контейнеры. Стеклянные подложки необходимо хранить в свежеокисленном алюминиевом контейнере, что снижает адсорбцию паров углеводородов, поскольку свежеокисленные алюминиевые контейнеры обладают преимущественной адсорбцией углеводородов. Поверхности, чувствительные к водяному пару или обладающие высокой нестабильностью, обычно хранятся в вакуумной сушильной печи.
Основные требования к окружающей среде в процессе вакуумного напыления включают в себя: высокую чистоту в вакуумной камере, отсутствие пыли в камере нанесения покрытия и т. д. В некоторых регионах влажность воздуха относительно высока, поэтому перед нанесением покрытия необходимо не только очистить компоненты на подложке и в вакуумной камере, но и провести термообработку и дегазацию. Кроме того, для предотвращения попадания масла в вакуумную камеру необходимо также уделять внимание мерам по возврату масла и предотвращению его засорения в диффузионном насосе для заправки.
Дата публикации: 18 февраля 2023 г.