真空コーティングプロセスは、適用環境に対して厳しい要件があります。従来の真空プロセスでは、真空衛生に関する主な要件は、真空中の機器部品や表面に汚染源が蓄積しないこと、真空チャンバーの表面が滑らかで、軟組織、気孔、隅の空間がないこと、つまり真空機内の溶接部が真空に影響を与えないこと、そして高真空機は潤滑剤として油を使用しないことです。オイルフリーの超高真空システムは、油蒸気が作動媒体の純度、作動性能、または表面特性に影響を与えないようにする必要があります。超高真空金属システムでは、構造材料として1Cr18Ni9Tiがよく使用されます。真空コーティング機が設置される実験室や作業場は、清潔で衛生的に保つ必要があります。
真空コーティング工程において、表面洗浄処理は非常に重要です。基本的に、すべての基板をコーティング真空チャンバーに投入する前に、ワークピースの脱脂、除染、脱水を行うためのめっき前洗浄工程を経る必要があります。
めっき部品の表面汚染の主な発生源は、加工、搬送、包装などの工程で付着する埃、汗、グリース、研磨剤、油、潤滑油などの物質、設備部品の表面に吸着・吸収されるガス、湿った空気中でめっき機部品の表面に形成される酸化膜などです。これらの発生源による汚染は、ほとんどの場合、脱脂洗浄や化学洗浄によって除去できます。
洗浄したワークピースは大気中に保管しないでください。粉塵汚染を低減し、ワークピースを清潔に保管するために、ワークピースは洗浄キャビネットや密閉容器に保管することがよくあります。ガラス基板は、新しく酸化処理したアルミニウム容器に保管する必要があります。これにより、炭化水素蒸気の吸着を抑えることができます。酸化処理したばかりのアルミニウム容器は炭化水素を優先的に吸着するからです。水蒸気に敏感な表面や非常に不安定な表面は、通常、真空乾燥炉で保管します。
真空コーティング工程における環境に対する基本的な要件は、主に真空室内の高清浄度、コーティング室内の無塵化などです。一部の地域では空気湿度が比較的高いため、めっき前に基板と真空チャンバー内の部品を洗浄するだけでなく、ベーキングと脱ガス処理も必要です。さらに、真空チャンバーへの油の侵入を防ぐため、給油拡散ポンプの油戻りと油詰まり対策にも注意を払う必要があります。
投稿日時: 2023年2月18日