ציפוי יונים פירושו שהמגיבים או החומרים המתאדים מושקעים על המצע על ידי הפצצת יונים של יוני גז או חומרים מתאדים, בעוד שהחומרים המתאדים מתפרקים או נפלטים מגז בתא ואקום. העיקרון הטכני של ציוד ציפוי קשיח עם קתודה חלולה הוא ציפוי יוני קתודה חלולה, שהיא טכנולוגיית שקיעת פריקה של קתודה חלולה.
אודות עקרון שקיעת פריקת הקתודה החלולה: טכניקת שקיעת פריקת הקתודה החלולה משתמשת בפריקת קתודה חמה כדי לייצר קרן פלזמה, והקתודה היא צינור טנטלום חלול. הקתודה והאנודה העזרית קרובות זו לזו, שהן שני הקטבים שמציתים את פריקת הקשת.
אקדח פריקת הקתודה החלולה ניצת בשתי דרכים.
1. שימוש בשדה חשמלי בתדר גבוה המופעל על צינור הטנטלום של הקתודה, כך שגז ארגון של צינור הטנטלום של הקתודה יינון ליוני ארגון, ולאחר מכן מופעל על ידי צינור הטנטלום של הקתודה באופן רציף על ידי יוני ארגון, עד שהחום מתחמם לטמפרטורה המינימלית הסטנדרטית של פליטת אלקטרונים ויוצר אלומת אלקטרונים בפלזמה.
2. בין האנודה העזרית לצינור הטנטלום הקתודית, כאשר מתח ישר של כ-300 וולט מופעל, צינור הטנטלום הקתודית עדיין עובר לגז ארגון. בלחץ גז ארגון של 1Pa-10Pa, תופעת פריקת הזוהר של האנודה העזרית וצינור הטנטלום הקתודית יוצרת הפגזה מתמדת של יוני ארגון על צינור הטנטלום הקתודית. עד לטמפרטורה של 2300K-2400K, צינור הטנטלום הקתודית פולט מספר רב של אלקטרונים, והמתח משתנה מ"פריקת זוהר" ל"פריקת קשת". המתח נמוך עד 30V-60V, וכל עוד הקתודה והאנודה נמצאות בין ספק הכוח, ניתן לייצר אלומת אלקטרונים בפלזמה.
ציוד ציפוי קתודי
1. לשפר את מבנה האקדח המקורי, מהזרם המרבי המקורי של 230A ל-280A.
2. שיפור מבנה מערכת הקירור המקורית, החל מקירור מכונת מי קרח מקורי בטמפרטורה של 4 מעלות צלזיוס ועד קירור במים בטמפרטורת החדר, וחיסכון בעלויות החשמל עבור המשתמשים.
3, שיפור מבנה ההולכה המכני המקורי, שינוי למבנה הולכה נוזל מגנטי, טמפרטורה גבוהה לא תגרום לתקיעת המסגרת המסתובבת.
4, שטח הציפוי האפקטיבי הוא 650X1100, ויכול להכיל 750 X 1250X600 חריצים ארוכים במיוחד עבור יצרני תבניות גדולות וציוד, ובעלי נפח גדול מאוד.
מכונת ציפוי יוני קתודה חלולים משמשת בעיקר לציפוי כלים, תבניות, תבניות מראה גדולות, תבניות פלסטיק, סכיני חיתוך ומוצרים אחרים.
זמן פרסום: 7 בנובמבר 2022