בחירת מטרה וסיווג

עם ההתפתחות הגוברת של ציפויי התזה, ובמיוחד טכנולוגיית ציפוי התזה מגנטרון, כיום, ניתן להכין סרט מטרה באמצעות הפגזת יונים לכל חומר. מכיוון שהמטרה מתזה בתהליך הציפוי שלה על סוג כלשהו של מצע, לאיכות הסרט הנמדד יש השפעה חשובה, לכן הדרישות לחומר המטרה מחמירות יותר. בבחירת חומר המטרה, בנוסף לשימוש בסרט עצמו, יש לקחת בחשבון גם את הסוגיות הבאות:

חומר המטרה צריך להיות בעל חוזק מכני טוב ויציבות כימית לאחר השכבה;

יש לשלב היטב את המטרה והמצע, אחרת יש לקחת בחשבון שהמצע מכיל שילוב טוב של שכבת ממברנה, תחילה יש ליישם סרט בסיס ולאחר מכן להכין את שכבת הממברנה הנדרשת;

כתגובה, התזה לתוך הממברנה חייבת להיות קלה להגיב עם הגז כדי ליצור סרט מורכב.

תחת ההנחה של עמידה בדרישות הביצועים של הממברנה, ההבדל בין מקדם ההתפשטות התרמית של חומר המטרה לבין המצע הוא קטן ככל האפשר, על מנת למזער את השפעת הלחץ התרמי על הממברנה המרוטשת.

בהתאם לדרישות השימוש והביצועים של הממברנה, חומר המטרה חייב לעמוד בדרישות הטוהר, תכולת הטומאה, אחידות הרכיבים, דיוק העיבוד השבבי ודרישות טכניות אחרות.

–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה