מאפייני מקור אידוי חימום התנגדותי, דרישות ובחירת חומרים

מקור אידוי חימום התנגדותי הוא פשוט, קל לשימוש, קל לייצור, והוא מקור האידוי הנפוץ ביותר. אנשים מכונים בדרך כלל מחולל חום או סירת אידוי.

דרישות החימום לחומר ההתנגדות המשמש הן: טמפרטורה גבוהה, התנגדות, לחץ אדים נמוך בטמפרטורות גבוהות, ללא תגובה כימית עם חומר הממברנה, ואינו גורם לפליטת גזים וזיהום. חומרי חימום התנגדות נבחרים בעיקר ממתכות עקשנות, כגון W, Mo, Ta וחומרים אחרים, או בחירה של גרפיט או בורון ניטריד בעלי טוהר גבוה וחוזק גבוה, קרמיקה מוליכה סינתטית וחומרים אחרים. לעיתים, ניתן גם לבחור Fe, Ni, סגסוגות Ni-Cr ו-Pt כחומר מקור אידוי.

מגוון חומרים נפוצים המבוססים על התנגדות לחימום (כגון Ti, Mo, C, Ta, W וכו') מתאימים לנקודת ההיתוך, לעקומת הקשר בין לחץ אדים וטמפרטורה. טונגסטן הופך שביר כאשר הוא מחומם לטמפרטורת האידוי עקב תוצר צומת החימום. מוליבדן, לעומת זאת, טוהר משתנה, כאשר חלק מהחומרים הופכים שבירים ואחרים לא. טונגסטן מגיב עם אדי מים ליצירת תרכובת חמצן נדיפה WO3.

לכן, כאשר טונגסטן מחומם באדי מים שיוריים, החומר המחומם מתרוקן באופן רציף. כאשר לחץ הגז השיורי נמוך, אין אובדן חומר רב, אך מדובר בזיהום חמור של הממברנה.

בעת שימוש במקורות פילמנטיים, יש לשים לב להרטבה של החוט החם על חומר הממברנה. לדוגמה, טמפרטורת החוט החם עולה מהר מדי, חומר הממברנה לא מתיך בקלות את כל חומר הממברנה באופן מיידי והרטבת החוט החם אינה מספקת. כתוצאה מכך, הסרט הלא מומס עלול ליפול מסלסלת החוט. במקביל, עלייה מהירה מדי בטמפרטורה תגרום גם לשחרור מהיר של גז בחומר הממברנה, וכתוצאה מכך נוצרות בועות או התזות, וכתוצאה מכך יווצרו טיפות קטנות שנדבקות למצע. לכן, יש להשתמש במקורות פילמנט עם בקרת טמפרטורה.

החיסרון העיקרי של סלי תיל, סלילים חרוטיים או סלילים ספירליים הוא שכמות חומר הסרט התומך קטנה מדי, ומקור זה יגרום לעלייה בטמפרטורת החוט החם ככל שכמות חומר הסרט פוחתת לאחר אידוי חומר הסרט, ובכך יגרום לעלייה בקצב האידוי. זוהי גם בעיה שיש לציין בתהליך ייצור הסרט הדורש שליטה קפדנית בקצב האידוי.

(2) עקרון העבודה, צורת המבנה ומאפייני השימוש

מקור אידוי לחימום התנגדות, למעשה, הוא מחמם התנגדות. זהו שימוש במחולל חום או סירת אידוי המופעלים ישירות על ידי אנרגיה, כך שהזרם עובר דרך מספר גדול של ג'אולים ומגיע לטמפרטורה גבוהה כדי להמיס את חומר הסרט המתכתי, כך שהוא מהווה מקור אידוי.

–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה