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Breve introduzione e vantaggi dell'attrezzatura per il rivestimento mediante sputtering magnetron

Fonte dell'articolo:Zhenhua vacuum
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Pubblicato: 23-02-07

Principio dello sputtering magnetron: gli elettroni collidono con gli atomi di argon durante il processo di accelerazione verso il substrato sotto l'azione del campo elettrico, ionizzando un gran numero di ioni ed elettroni di argon, che a loro volta si dirigono verso il substrato. Lo ione di argon accelera per bombardare il materiale bersaglio sotto l'azione del campo elettrico, espellendo un gran numero di atomi bersaglio, che si depositano sul substrato come atomi bersaglio neutri (o molecole) per formare una pellicola. Quando l'elettrone secondario accelera per raggiungere il substrato, sotto l'influenza della forza di Lorentz del campo magnetico, presenta una forma composita a spirale e cicloide per compiere una serie di movimenti circolari sulla superficie del bersaglio. L'elettrone non solo percorre un lungo percorso di movimento, ma si trova ancora nell'area del plasma vicino alla superficie del bersaglio a causa del fascio di teoria del campo elettromagnetico, in cui una grande quantità di Ar viene ionizzata per bombardare il bersaglio, quindi la velocità di deposizione del dispositivo di rivestimento mediante sputtering magnetron è elevata.
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Quindi, unapparecchiature di rivestimento a sputtering magnetronÈ stato sviluppato un sistema che integra la tecnologia di sputtering magnetron e di rivestimento ionico, offrendo una soluzione per migliorare l'uniformità del colore e la stabilità della velocità di deposizione e della composizione del composto. È possibile selezionare sistemi di riscaldamento, sistemi di polarizzazione, sistemi di ionizzazione e altri dispositivi in ​​base alle diverse esigenze del prodotto. La distribuzione del target può essere regolata in modo flessibile e l'uniformità del film è superiore. Utilizzando diversi materiali target, è possibile preparare un film composito con prestazioni migliori. Il rivestimento preparato dall'apparecchiatura presenta i vantaggi di un'elevata forza composita e compattezza, che possono migliorare efficacemente la resistenza alla nebbia salina, la resistenza all'usura e la durezza superficiale del prodotto, soddisfacendo i requisiti di preparazione di rivestimenti ad alte prestazioni.
L'attrezzatura è ricca di materiali applicabili, che possono essere utilizzati per componenti hardware/plastica placcati in acciaio inossidabile, vetro, ceramica e altri materiali. Viene utilizzata principalmente per componenti hardware di prodotti elettronici, orologi di fascia alta, gioielli di alta gamma e componenti hardware per pelletteria di marca e altri prodotti di pregio.


Data di pubblicazione: 07-02-2023