Segulspúttrun felur aðallega í sér flutning útblástursplasma, etsun skotmarks, þunnfilmuútfellingu og önnur ferli, þar sem segulsviðið hefur áhrif á segulspúttunarferlið. Í segulspúttunarkerfinu ásamt rétthyrndu segulsviði eru rafeindirnar undir áhrifum Lorentz-kraftsins og framkvæma spíralhreyfingar, verða að gangast undir stöðugan árekstur til að færast smám saman að anóðunni. Vegna árekstursins er orkan lítil og hitinn sem sprengist á undirlagið er heldur ekki mikill. Þar að auki, vegna takmarkana á rafeindum sem myndast af segulsviði skotmarksins, er seguláhrif svæðisins innan útblástursbrautarinnar á þessu litla staðbundna svið rafeindaþéttni mjög mikil. Og á svæðinu utan undirlagsins, sérstaklega fjarri segulsviðinu nálægt yfirborðinu, er rafeindaþéttnin mun minni og tiltölulega jafn, og jafnvel minni en við tvípólaspúttunarskilyrði (vegna þrýstingsmismunar á vinnugasi um stærðargráðu). Lágur þéttleiki rafeinda sem skjóta á yfirborð undirlagsins veldur lágum hitahækkunum á undirlaginu, sem er aðalferillinn að hitastigshækkun undirlagsins í segulspúttunarferlinu. Þar að auki, ef aðeins er rafsvið, ná rafeindirnar anóðunni eftir mjög stutta vegalengd og líkurnar á árekstri við vinnugasið eru aðeins 63,8%. Og með því að bæta við segulsviðinu, sem færist að anóðunni og framkvæmir spíralhreyfingu, bindur segulsviðið og lengir braut rafeindanna, sem eykur verulega líkurnar á árekstri rafeinda og vinnugassins, sem eykur verulega jónun, sem aftur tengist jónun og myndar rafeindir sem einnig mynda árekstra, sem getur aukið líkurnar á árekstri um nokkrar stærðargráður, sem nýtir orku rafeindanna á skilvirkan hátt og þar með myndar plasma með mikilli þéttleika. Þéttleiki plasmasins eykst með óeðlilegri glóútfellingu. Hraði spúttunar atóma frá skotmarkinu eykst einnig og spúttunar skotmarksins vegna sprengjuárása á skotmarkið með jákvæðum jónum er áhrifaríkari, sem er ástæðan fyrir mikilli útfellingu segulsviðsins. Að auki getur segulsviðið einnig gert spúttunarkerfið kleift að starfa við lægri loftþrýsting. Lágt loftþrýstingur 1 getur myndað jónir á svæðinu í hjúpslaginu til að draga úr árekstri, sprengjuárás á skotmarkið með tiltölulega mikilli hreyfiorku og dregið úr árekstri spúttunar atóma og hlutlausra gasa til að koma í veg fyrir að atómin dreifist á vegg tækisins eða skoppi aftur á yfirborð skotmarksins og bæta þannig hraða og gæði útfellingar þunnfilmunnar.
Segulsvið marksins getur á áhrifaríkan hátt takmarkað braut rafeinda, sem aftur hefur áhrif á eiginleika plasmans og etsun jóna á skotmarkinu.
Rakning: Aukin einsleitni segulsviðs marksins getur aukið einsleitni etsunar á yfirborði marksins og þannig bætt nýtingu markefnisins; sanngjörn dreifing rafsegulsviðsins getur einnig á áhrifaríkan hátt bætt stöðugleika spúttunarferlisins. Þess vegna er stærð og dreifing segulsviðsins afar mikilvæg fyrir magnetron spúttunarmarkmið.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 14. des. 2023