1. Varma CVD tækni
Harðhúðun er aðallega málmkeramikhúðun (TiN, o.s.frv.) sem myndast við efnahvörf málms í húðuninni og við hvarfgösun. Í fyrstu var varma CVD tækni notuð til að veita virkjunarorku samsettrar efnahvarfs með varmaorku við háan hita, 1000 ℃. Þetta hitastig hentar aðeins til að setja TiN og aðrar harðar húðanir á sementað karbítverkfæri. Hingað til er það enn mikilvæg tækni að setja TiN-Al20 samsettar húðanir á sementað karbítverkfærahausa.
2. Húðun með holu katóðujónum og húðun með heitum vírbogajónum
Á níunda áratugnum voru holkaþóðujónahúðun og heitvírbogajónahúðun notuð til að setja húðuð skurðarverkfæri á. Báðar þessar jónahúðunartækni eru bogaútblástursjónahúðunartækni, með málmjónunarhraða allt að 20%~40%.
3. Katóðubogajónhúðun
Tilkoma kaþóðískrar bogajónahúðunar hefur leitt til þróunar á tækni til að setja harða húðun á mót. Jónunarhraði kaþóðískrar bogajónahúðunar er 60% ~ 90%, sem gerir kleift að fjöldi málmjóna og hvarfgassjóna nái yfirborði vinnustykkisins og viðhaldi samt mikilli virkni, sem leiðir til hvarfsetningar og myndunar harðra húðunar eins og TiN. Eins og er er kaþóðísk bogajónahúðunartækni aðallega notuð til að setja harða húðun á mót.
Katóðbogagjafinn er uppgufunargjafi í föstu formi án fastrar bráðnar og staðsetning katóðbogagjafans er hægt að staðsetja eftir handahófi, sem bætir nýtingu rýmis í húðunarrýminu og eykur hleðslugetu ofnsins. Lögun katóðbogagjafanna felur í sér litlar hringlaga katóðbogagjafa, súlulaga katóðbogagjafa og rétthyrndar flatar stórar katóðbogagjafar. Mismunandi íhlutir lítilla katóðbogagjafa, súlulaga katóðbogagjafa og stórra katóðbogagjafa er hægt að raða sérstaklega til að setja fjöllaga filmur og nanó-fjöllaga filmur. Á sama tíma, vegna mikils málmjónunarhraða katóðbogajónahúðunar, geta málmjónir tekið í sig fleiri hvarfgas, sem leiðir til breitt ferlissviðs og einfaldrar aðgerðar til að fá framúrskarandi harða húðun. Hins vegar eru grófar dropar í örbyggingu húðunarlagsins sem fæst með katóðbogajónahúðun. Á undanförnum árum hafa margar nýjar tækni komið fram til að betrumbæta uppbyggingu filmulagsins, sem hefur bætt gæði katóðbogajónahúðunarfilmunnar.
—— Þessi grein var gefin út af Guangdong Zhenhua Technology, aframleiðandi á ljósfræðilegum húðunarvélum.
Birtingartími: 28. apríl 2023