Struktur sumber penguapan pemanas resistansi sederhana, mudah digunakan, mudah dibuat, merupakan salah satu jenis sumber penguapan yang paling banyak digunakan. Orang-orang biasanya menyebutnya generator panas atau perahu penguapan.
Persyaratan bahan pemanas resistansi yang digunakan adalah: suhu tinggi, resistivitas, tekanan uap rendah pada suhu tinggi, tidak ada reaksi kimia dengan bahan membran, tidak menghasilkan gas keluar dan polusi. Bahan pemanas resistansi yang dipilih terutama dari logam tahan api, seperti W, Mo, Ta dan bahan lainnya atau pemilihan grafit atau keramik konduktif sintetis boron nitrida dengan kemurnian tinggi dan kekuatan tinggi serta bahan lainnya. Terkadang, dapat juga memilih paduan Fe, Ni, Ni-Cr dan Pt sebagai bahan sumber penguapan.
Berbagai sumber penguapan pemanasan resistansi bahan-bahan umum (seperti Ti, Mo, C, Ta, W, dll.) memiliki kurva hubungan titik leleh dan tekanan uap serta suhu yang berbeda. Di antara semuanya, tungsten menjadi getas saat dipanaskan hingga mencapai suhu penguapan karena produk sambungan pemanasan. Di sisi lain, molibdenum memiliki kemurnian yang bervariasi, dengan beberapa menjadi getas dan yang lainnya tidak. Tungsten bereaksi dengan uap air untuk membentuk senyawa oksigen volatil WO3.
Oleh karena itu, ketika tungsten dipanaskan dalam uap air sisa, material yang dipanaskan akan terus terkuras. Ketika tekanan gas sisa rendah, tidak banyak material yang hilang, tetapi ini merupakan kontaminasi serius pada membran.
Penggunaan sumber filamen harus memperhatikan pembasahan kawat panas pada bahan membran. Misalnya, suhu kawat panas naik terlalu cepat, bahan membran tidak mudah untuk segera melelehkan semua bahan membran dan pembasahan kawat panas tidak cukup. Akibatnya, film yang tidak meleleh dapat jatuh dari keranjang kawat. Pada saat yang sama, kenaikan suhu yang terlalu cepat juga akan menyebabkan bahan membran dalam gas dilepaskan dengan cepat, sehingga terjadi gelembung atau percikan, hasilnya akan membuat pembentukan tetesan kecil menempel pada substrat. Oleh karena itu, sumber filamen harus digunakan dengan kontrol suhu.
Kerugian utama dari keranjang kawat, kumparan kerucut atau kumparan spiral adalah jumlah bahan film pendukung terlalu sedikit, dan sumber ini akan menyebabkan suhu kawat panas meningkat karena jumlah bahan film berkurang setelah bahan film diuapkan, sehingga menyebabkan laju penguapan meningkat. Ini juga merupakan masalah yang perlu diperhatikan untuk proses pembuatan film yang memerlukan kontrol ketat terhadap laju penguapan.
(2) Prinsip kerja dan bentuk struktur serta karakteristik penggunaan
Sumber penguapan pemanas resistansi, pada kenyataannya, adalah pemanas resistansi yang menggunakan generator panas atau perahu penguapan yang langsung diberi energi, sehingga arus melalui sejumlah besar Joule panas dan mendapatkan suhu tinggi untuk melelehkan bahan film logam, sehingga penguapannya merupakan jenis sumber penguapan.
–Artikel ini dirilis olehprodusen mesin pelapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktu posting: 23-Feb-2024