Az ionbevonatolás azt jelenti, hogy a reagenseket vagy az elpárologtatott anyagokat gázionok vagy elpárologtatott anyagok ionbombázásával rakják le az aljzatra, miközben az elpárologtatott anyagok disszociálnak vagy gázt ürítenek ki egy vákuumkamrában. Az üreges katódos kemény bevonóberendezések műszaki alapelve az üreges katódos ionbevonatolás, amely egy üreges katódos kisüléses leválasztási technológia.
Az üreges katódos kisüléses leválasztás elvéről: Az üreges katódos kisüléses leválasztási technika forró katódos kisülést használ plazmasugár előállítására, a katód pedig egy üreges tantálcső. A katód és a segédanód egymáshoz közel helyezkednek el, és ezek a két pólus gyújtják be az ívkisülést.
Az üreges katódos kisüléses leválasztó pisztoly kétféleképpen gyullad be.
1. Nagyfrekvenciás elektromos tér alkalmazása a katód tantálcsőre, így a katód tantálcső argongáz ionizációja argonionokká történik, majd a katód tantálcsövet folyamatosan argonionokkal bombázzák, amíg a hő felmelegszik az elektronkibocsátás minimális hőmérsékleti szabványára, és plazma elektronnyalábot generál.
2. A segédanód és a katód tantálcső között körülbelül 300 V egyenfeszültség alkalmazása esetén a katód tantálcső továbbra is argongázba kerül, az 1 Pa-10 Pa argongáznyomás alatt a segédanód és a katód tantálcső izzó kisülési jelenséget produkál, az argonion-bombázás folyamatosan bombázza a katód tantálcsövet, amíg a hőmérséklet eléri a 2300 K-2400 K-ot, a katód tantálcső nagyszámú elektront bocsát ki, és „izzó kisülésről” „ívkisülésre” vált, ezúttal a feszültség 30 V-60 V-ra csökken, majd amíg a katód és az anód a tápegység között van, plazma elektronsugarat generálhat.
Katódos bevonó berendezések
1. Az eredeti pisztolyszerkezet javítása az eredeti maximális 230 A-ról 280 A-ra.
2. Javítsa az eredeti hűtőrendszer szerkezetét, az eredeti 4 ℃-os jegesvíz-gép hűtésétől a szobahőmérsékletű hűtővíz-hűtésig, megtakarítva a felhasználók áramköltségeit.
3, Javítsa az eredeti mechanikus erőátviteli szerkezetet, mágneses folyadékátviteli szerkezetre váltva, a magas hőmérséklet nem fogja elakadni a forgó keretet.
4, a tényleges bevonatolási terület 650X1100, 750 X 1250X600 túlméretezett szerszám- és fogaskerék-gyártók számára alkalmas, extra hosszú üregelővel, nagyon nagy térfogattal.
Az üreges katódos ionbevonó gépet főként szerszámok, öntőformák, nagyméretű tükörformák, műanyag öntőformák, lefejtő kések és egyéb termékek bevonására használják.
Közzététel ideje: 2022. november 7.