Az ellenállásfűtéses párologtató forrás szerkezete egyszerű, könnyen használható, könnyen elkészíthető, és ez a legszélesebb körben használt párologtató forrásfajta. Általában hőfejlesztőnek vagy párologtató csónaknak nevezik.
A felhasznált ellenállásanyaggal szemben támasztott követelmények a következők: magas hőmérséklet, fajlagos ellenállás, alacsony gőznyomás magas hőmérsékleten, kémiai reakció hiánya a membránanyaggal, gázkibocsátás és szennyeződés mentes. Az ellenállásfűtő anyagokat főként tűzálló fémekből, például W-ből, Mo-ból, Ta-ból és más anyagokból, vagy nagy tisztaságú, nagy szilárdságú grafitból vagy bór-nitrid szintetikus vezetőképes kerámiákból és egyéb anyagokból választják ki. Néha Fe, Ni, Ni-Cr ötvözet és Pt is választható párologtatási forrásanyagként.
A gyakori anyagok (például Ti, Mo, C, Ta, W stb.) olvadáspont- és gőznyomás-hőmérséklet görbéje eltérő, ha a párolgási hőmérsékletre hevítik. A volfrám a melegítési csomópont terméke miatt rideggé válik. A molibdén ezzel szemben tisztasága változó, némelyik rideggé válik, mások nem. A volfrám vízgőzzel reagálva illékony oxigénvegyületet, WO3-ot képez.
Ezért, amikor a volfrámot maradék vízgőzben hevítik, a hevített anyag folyamatosan fogy. Alacsony maradék gáznyomás esetén nincs nagy anyagveszteség, de a membrán komoly szennyeződését okozza.
A szálas források használatakor ügyelni kell a forró huzal membránanyagon való nedvesítésére. Például, ha a forró huzal hőmérséklete túl gyorsan emelkedik, a membránanyag nem tudja könnyen és azonnal megolvasztani a membránanyag teljes egészét, és a forró huzal nedvesítése nem elegendő. Ennek eredményeként a megolvadatlan film kieshet a huzalkosárból. Ugyanakkor a túl gyors hőmérséklet-emelkedés a membránanyagban lévő gáz gyors felszabadulását is okozza, ami buborékokat vagy fröccsenést eredményez, és ennek eredményeként apró cseppek tapadnak az aljzathoz. Ezért a szálas forrásokat hőmérséklet-szabályozással kell használni.
A drótkosarak, kúpos tekercsek vagy spirális tekercsek fő hátránya, hogy a tartófólia mennyisége túl kicsi, és ez a forrás a forró drót hőmérsékletének emelkedését okozza, mivel a fóliaanyag mennyisége csökken a fóliaanyag elpárolgása után, ezáltal a párolgási sebesség is megnő. Ez egy olyan probléma is, amelyet figyelembe kell venni a fóliagyártási folyamat során, amely a párolgási sebesség szigorú szabályozását igényli.
(2) A működési elv, a szerkezet alakja és felhasználási jellemzői
Az ellenállásfűtés párolgási forrása valójában az ellenállásfűtés, amely egy hőfejlesztő vagy párologtató közvetlenül feszültség alá helyezett csónakot használ, így az áram nagyszámú Joule hőt vezet át, és magas hőmérsékleten megolvasztja a fémfilm anyagot, így a párolgása egyfajta párolgási forrásként szolgál.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2024. február 23.