1. Termikus CVD technológia
A kemény bevonatok többnyire fémkerámia bevonatok (TiN stb.), amelyek a bevonatban lévő fém reakciójával és reaktív elgázosításával képződnek. Kezdetben a termikus CVD technológiát alkalmazták a kombinációs reakció aktiválási energiájának biztosítására 1000 ℃-os magas hőmérsékleten, hőenergiával. Ez a hőmérséklet csak TiN és más kemény bevonatok felvitelére alkalmas keményfém szerszámokra. A mai napig továbbra is fontos technológia a TiN-Al20 kompozit bevonatok felvitele keményfém szerszámfejekre.
2. Üreges katódos ionbevonat és forró huzalos íves ionbevonat
Az 1980-as években üreges katódos ionbevonatot és forró huzalos íves ionbevonatot alkalmaztak a bevonatos vágószerszámok felvitelére. Mindkét ionbevonatolási technológia ívkisüléses ionbevonatolási technológia, akár 20%~40%-os fémionizációs aránnyal.
3. Katódos íves ionbevonat
A katódos íves ionbevonat megjelenése a kemény bevonatok öntőformákra történő leválasztásának technológiájának fejlődéséhez vezetett. A katódos íves ionbevonat ionizációs sebessége 60%~90%, ami lehetővé teszi, hogy nagyszámú fémion és reakciógáz ion elérje a munkadarab felületét, és továbbra is nagy aktivitást tartson fenn, ami reakciós lerakódást és kemény bevonatok, például TiN képződését eredményezi. Jelenleg a katódos íves ionbevonat technológiát főként kemény bevonatok öntőformákra történő leválasztására használják.
A katódos ívforrás egy szilárdtest párologtató forrás rögzített olvadékmedence nélkül, és az ívforrás helye tetszőlegesen elhelyezhető, javítva a bevonó helyiség helykihasználási arányát és növelve a kemence terhelhetőségét. A katódos ívforrások alakja magában foglalhat kis kör alakú katódos ívforrásokat, oszlopos ívforrásokat és téglalap alakú lapos nagy ívforrásokat. A kis ívforrások, oszlopos ívforrások és nagy ívforrások különböző összetevői külön-külön elrendezhetők többrétegű filmek és nanorétegű többrétegű filmek lerakásához. Eközben a katódos ívionbevonat magas fémionizációs sebessége miatt a fémionok több reakciógázt tudnak elnyelni, ami széles folyamattartományt és egyszerű kezelhetőséget eredményez a kiváló kemény bevonatok előállításához. A katódos ívionbevonattal kapott bevonóréteg mikroszerkezetében azonban durva cseppek vannak. Az elmúlt években számos új technológia jelent meg a filmréteg szerkezetének finomítására, ami javította az ívionbevonó film minőségét.
——Ezt a cikket a Guangdong Zhenhua Technology, egy… tette közzéoptikai bevonó gépek gyártója.
Közzététel ideje: 2023. április 28.