Kouch iyon vle di ke reyaktif yo oswa materyèl evapore yo depoze sou substra a pa bonbadman iyon gaz oswa materyèl evapore pandan ke materyèl evapore yo disosye oswa egzeyate gaz nan yon chanm vakyòm. Prensip teknik ekipman kouch di katod kre se kouch iyon katod kre, ki se yon teknoloji depozisyon egzeyat katod kre.
Konsènan prensip depo egzeyat katod kre: Teknik depo egzeyat katod kre a itilize yon egzeyat katod cho pou jenere yon gwo bout bwa plasma, epi katod la se yon tib tantal kre. Katod la ak anod oksilyè a pre youn ak lòt, ki se de poto ki limen egzeyat ark la.
Zam depo egzeyat katod kre a limen nan de fason.
1, Itilizasyon yon chan elektrik wo frekans aplike nan tib tantal katod la, sa ki fè gaz agon an iyonize tib tantal katod la pou l vin tounen iyon agon epi answit deklanche pa tib tantal katod la ki kontinyèlman bonbade pa iyon agon, jiskaske chalè a rive nan tanperati minimòm estanda pou emisyon elektwon epi jenere yon gwo bout bwa elektwon plasma.
2, Ant aplikasyon vòltaj apeprè 300V DC nan tib tantal oksilyè anod la ak katod la, tib tantal katod la toujou pase nan gaz agon an. Anba presyon gaz agon 1Pa-10Pa a, fenomèn egzeyat lumineux anod oksilyè a ak tib tantal katod la se yon egzeyat lumineux. Bonbadman iyon agon an ap bonbade tib tantal katod la toujou. Jiskaske tanperati a rive nan 2300K-2400K, tib tantal katod la emèt yon gwo kantite elektwon, sa ki chanje soti nan "egzeyat lumineux" pou rive nan "egzeyat arc". Fwa sa a, vòltaj la ba tankou 30V-60V. Lè sa a, toutotan katod la ak anod la konekte, ou ka pwodui yon gwo bout bwa elektwon plasma.
Ekipman kouch katodik
1. Amelyore estrikti orijinal zam lan, soti nan kouran maksimòm orijinal 230A a 280A.
2. Amelyore estrikti sistèm refwadisman orijinal la, soti nan refwadisman orijinal machin dlo glas 4℃ rive nan refwadisman dlo refwadisman tanperati chanm, ekonomize pri elektrisite pou itilizatè yo.
3, Amelyore estrikti transmisyon mekanik orijinal la, chanje an estrikti transmisyon likid mayetik, tanperati ki wo pa pral bloke ankadreman wotasyon an.
4, zòn kouch efektif la ￠ 650X1100, ka akomode 750 X 1250X600 manifaktirè mwazi ak angrenaj ki gen broch siplemantè long, ak yon volim trè gwo.
Machin kouch iyon katod kre a sitou itilize nan plake zouti, mwazi, gwo mwazi miwa, mwazi plastik, kouto hobbing ak lòt pwodwi.
Dat piblikasyon: 7 novanm 2022