Pulverizasyon mayetron an gen ladan sitou transpò plasma egzeyat, grave sib, depo fim mens ak lòt pwosesis, chan mayetik ki afekte pwosesis pulverizasyon mayetron an ap gen yon enpak. Nan sistèm pulverizasyon mayetron an plis chan mayetik ortogonal la, elektwon yo sibi wòl fòs Lorentz la epi yo fè mouvman espiral, yo dwe sibi yon kolizyon konstan pou yo deplase piti piti nan anod la, akòz kolizyon an ki fè yon pati nan elektwon yo rive nan anod la apre enèji a piti, chalè bonbadman sou substra a tou pa gwo. Anplis de sa, akòz kontrent chan mayetik sib elektwon an, nan rejyon sifas sib la, efè mayetik nan rejyon ki andedan pist egzeyat la nan sifas sib la, ti ranje lokal konsantrasyon elektwon sa a trè wo, epi nan rejyon efè mayetik deyò sifas substra a, espesyalman lwen chan mayetik la toupre sifas la, konsantrasyon elektwon an akòz dispèsyon pi ba anpil ak distribisyon relativman inifòm, e menm pi ba pase kondisyon pulverizasyon dipol yo (akòz diferans presyon gaz k ap travay la nan yon lòd mayitid). Bonbadman sifas substrati a ki ba akòz dansite elektwon ki ba, sa ki lakòz bonbadman substrati a ki koze pa ogmantasyon tanperati ki ba, ki se prensipal mekanis pou pulverizasyon mayetron an, ogmante tanperati substrati a ba. Anplis de sa, si gen sèlman yon chan mayetik, elektwon yo rive nan anod la apre yon distans trè kout, epi pwobabilite pou kolizyon ak gaz k ap travay la se sèlman 63.8%. Epi ajoute chan mayetik la, elektwon yo nan pwosesis pou deplase nan anod la pou fè mouvman espiral, chan mayetik la lye epi pwolonje trajektwa elektwon yo, amelyore anpil pwobabilite pou kolizyon elektwon ak gaz k ap travay yo, ki ankouraje anpil ensidans iyonizasyon, iyonizasyon an epi answit pwodui elektwon ki rantre nan pwosesis kolizyon an ankò, pwobabilite pou kolizyon an ka ogmante pa plizyè lòd mayitid, itilizasyon efikas enèji elektwon yo, e konsa nan fòmasyon plasma dansite segondè. Dansite plasma a ogmante nan egzeyat lumineux anomal. Vitès pulverizasyon atòm ki soti nan sib la ogmante tou, epi pulverizasyon sib ki koze pa bonbadman sib la pa iyon pozitif yo pi efikas, sa ki lakòz gwo vitès depo pulverizasyon mayetron an. Anplis de sa, prezans chan mayetik la kapab fè sistèm pulverizasyon an fonksyone nan yon presyon lè ki pi ba. Yon presyon lè ki ba ak 1 ka fè iyon yo antre nan rejyon kouch kouch la pou diminye kolizyon an. Bonbadman sib la gen yon enèji sinetik relativman gwo, epi li kapab diminye kantite atòm sib ki pulverizate yo ak kolizyon gaz net la, pou anpeche atòm sib yo gaye sou miray aparèy la oswa rebondi sou sifas sib la, pou amelyore vitès ak kalite depo fim mens lan.
Chan mayetik sib la ka efektivman limite trajektwa elektwon yo, ki an vire afekte pwopriyete plasma yo ak grave iyon yo sou sib la.
Tras: Ogmante inifòmite chan mayetik sib la ka ogmante inifòmite grave sifas sib la, kidonk amelyore itilizasyon materyèl sib la; yon distribisyon rezonab chan elektwomayetik kapab amelyore tou estabilite pwosesis pulverizasyon an efektivman. Se poutèt sa, pou sib pulverizasyon mayetron, gwosè ak distribisyon chan mayetik la trè enpòtan.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 14 Desanm 2023