Entwodiksyon nan teknik konvansyonèl pou depoze kouch di

1. Teknoloji CVD tèmik

Kouch di yo se sitou kouch seramik metal (TiN, elatriye), ki fòme pa reyaksyon metal nan kouch la ak gazifikasyon reyaktif. Okòmansman, teknoloji CVD tèmik la te itilize pou bay enèji aktivasyon reyaksyon konbinezon pa enèji tèmik nan yon tanperati ki wo 1000 ℃. Tanperati sa a sèlman apwopriye pou depoze TiN ak lòt kouch di sou zouti karbid siman. Jiskaprezan, li toujou yon teknoloji enpòtan pou depoze kouch konpoze TiN-Al20 sou tèt zouti karbid siman.

2. Kouch iyon katod kre ak kouch iyon fil cho

Nan ane 1980 yo, yo te itilize kouch iyon katod kre ak kouch iyon ak fil cho pou depoze zouti koupe ki gen kouch. Toulede teknoloji kouch iyon sa yo se teknoloji kouch iyon ak egzeyat ak ark, ak yon to iyonizasyon metal ki rive jiska 20% ~ 40%.

3. Kouch iyon ak katod

Aparisyon kouch iyon ak ark katodik la mennen nan devlopman teknoloji pou depoze kouch di sou mwazi. To iyonizasyon kouch iyon ak ark katodik la se 60% ~ 90%, sa ki pèmèt yon gwo kantite iyon metal ak iyon gaz reyaksyon rive sou sifas pyès la epi toujou kenbe yon aktivite ki wo, sa ki lakòz depo reyaksyon ak fòmasyon kouch di tankou TiN. Kounye a, teknoloji kouch iyon ak ark katodik la sitou itilize pou depoze kouch di sou mwazi.

Sous ark katod la se yon sous evaporasyon solid san yon pisin fonn fiks, epi yo ka mete sous ark la nan pozisyon abitrè, sa ki amelyore to itilizasyon espas nan chanm kouch la epi ogmante kapasite chaj founo a. Fòm sous ark katod yo gen ladan ti sous ark katod sikilè, sous ark kolòn, ak sous ark plat rektangilè gwo. Diferan konpozan sous ark ti, sous ark kolòn, ak sous ark gwo yo ka ranje separeman pou depoze fim milti-kouch ak fim nano milti-kouch. Pandansetan, akòz gwo to iyonizasyon metal nan kouch iyon ark katodik la, iyon metal yo ka absòbe plis gaz reyaksyon, sa ki lakòz yon pakèt pwosesis ak operasyon senp pou jwenn ekselan kouch di. Sepandan, gen gout koryas nan mikwoestrikti kouch kouch la ki jwenn pa kouch iyon ark katodik la. Nan dènye ane yo, anpil nouvo teknoloji te parèt pou amelyore estrikti kouch fim nan, sa ki amelyore kalite fim kouch iyon ark la.

—— Atik sa a te pibliye pa Guangdong Zhenhua Technology, yon konpayi...manifakti machin kouch optik.