1. Termalna CVD tehnologija
Tvrdi premazi su uglavnom metalokeramički premazi (TiN, itd.), koji nastaju reakcijom metala u premazu i reaktivnim rasplinjavanjem. U početku se koristila termička CVD tehnologija za osiguravanje energije aktivacije kombinirane reakcije toplinskom energijom na visokoj temperaturi od 1000 ℃. Ova temperatura je prikladna samo za nanošenje TiN i drugih tvrdih premaza na alate od cementiranog karbida. Do sada je još uvijek važna tehnologija nanošenja kompozitnih premaza TiN-Al20 na glave alata od cementiranog karbida.
2. Ionski premaz šuplje katode i ionski premaz vrućom žicom
U 1980-ima, ionsko premazivanje šupljom katodom i ionsko premazivanje vrućom žicom korišteni su za nanošenje premaza na alate za rezanje. Obje ove tehnologije ionskog premazivanja su tehnologije ionskog premazivanja elektrolučnim pražnjenjem, sa stopom ionizacije metala do 20%~40%.
3. Ionski premaz katodnim lukom
Pojava katodnog lučnog ionskog premaza dovela je do razvoja tehnologije nanošenja tvrdih premaza na kalupe. Brzina ionizacije katodnog lučnog ionskog premaza iznosi 60%~90%, što omogućuje velikom broju metalnih iona i iona reakcijskog plina da dopru do površine obratka, a da pritom zadrže visoku aktivnost, što rezultira reakcijskim taloženjem i stvaranjem tvrdih premaza poput TiN-a. Trenutno se tehnologija katodnog lučnog ionskog premaza uglavnom koristi za nanošenje tvrdih premaza na kalupe.
Katodni luk je izvor isparavanja u čvrstom stanju bez fiksnog rastaljenog bazena, a položaj luka može se proizvoljno postaviti, poboljšavajući iskorištenost prostora prostorije za premazivanje i povećavajući kapacitet opterećenja peći. Oblici katodnih luka uključuju male kružne katodne lukove, stupčaste lukove i pravokutne ravne velike lukove. Različite komponente malih lukova, stupčastih lukova i velikih lukova mogu se odvojeno rasporediti za nanošenje višeslojnih filmova i nano višeslojnih filmova. U međuvremenu, zbog visoke brzine ionizacije metala katodnim lučnim ionskim premazom, metalni ioni mogu apsorbirati više reakcijskih plinova, što rezultira širokim rasponom procesa i jednostavnim radom za dobivanje izvrsnih tvrdih premaza. Međutim, u mikrostrukturi sloja premaza dobivenog katodnim lučnim ionskim premazom postoje grube kapljice. Posljednjih godina pojavile su se mnoge nove tehnologije za poboljšanje strukture sloja filma, što je poboljšalo kvalitetu filma lučnog ionskog premaza.
——Ovaj članak je objavio Guangdong Zhenhua Technology,proizvođač strojeva za optičke premaze.
Vrijeme objave: 28. travnja 2023.