फिल्म की वृद्धि का सामना करना बहुत महत्वपूर्ण प्रभाव डालता है। यदि सब्सट्रेट की सतह खुरदरापन बड़ी है, और अधिक से अधिक सतह दोषों के साथ संयुक्त है, तो यह फिल्म के लगाव और विकास दर को प्रभावित करेगा। इसलिए, वैक्यूम कोटिंग शुरू होने से पहले, सब्सट्रेट को प्री-प्रोसेस किया जाएगा, जो सब्सट्रेट की सतह पर सब्सट्रेट की सतह खुरदरापन की भूमिका निभाता है। अल्ट्रासोनिक हस्तक्षेप के बाद, सब्सट्रेट की सतह पर एक छोटी सी खरोंच बनेगी, जो पतली फिल्म कणों और सब्सट्रेट की सतह के संपर्क क्षेत्र को बढ़ाती है, जो रोटर की औपचारिकता और झिल्ली आधार के संयोजन को काफी बढ़ा सकती है।
अधिकांश सब्सट्रेट सामग्रियों के लिए, जैसे-जैसे सब्सट्रेट की खुरदरापन कम होती जाती है, फिल्म आसंजन बढ़ता जाता है, अर्थात झिल्ली आधार बंधन बल मजबूत होता जाता है; कुछ सब्सट्रेट सामग्रियां भी हैं जो विशेष मामले हैं, जैसे कि सिरेमिक बेस की फिल्म लगाव डिग्री कम हो जाती है, अर्थात झिल्ली आधार बंधन बल कमजोर हो जाता है।
फिल्म और फिल्म से मेल खाने वाले प्रभावशाली कारकों में, थर्मल बल्क गुणांक एक निर्णायक भूमिका निभाता है। जब फिल्म का थर्मल विस्तार गुणांक मैट्रिक्स के थर्मल विस्तार गुणांक से अधिक होता है, तो टॉर्क नकारात्मक होता है, और अधिकतम तनाव मुक्त सीमा पर होता है। यह संपीड़ित होने के लिए केंद्र के केंद्र के करीब होता है, और फिल्म स्तरित दिखाई दे सकती है। एक उदाहरण के रूप में तलछटी स्किनस पतली फिल्म को लें। क्योंकि हीरे का थर्मल विस्तार गुणांक छोटा होता है, जब गैस चरण का जमाव खत्म हो जाता है, तो सब्सट्रेट का तापमान उच्च तलछटी तापमान से कमरे के तापमान तक कम हो जाता है, और सब्सट्रेट की तुलना में हीरे का संकुचन कम हो जाता है। अंदर एक बड़ा थर्मल तनाव पैदा होगा। जब फिल्म का थर्मल विस्तार गुणांक सब्सट्रेट के हीटिंग लेजर गुणांक से कम होता है, तो टॉर्क सकारात्मक होता है, और फिल्म को परत करना आसान नहीं होता है।
-यह लेख द्वारा जारी किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ
पोस्ट करने का समय: फ़रवरी-29-2024