स्पटरिंग कोटिंग, विशेष रूप से मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग तकनीक के बढ़ते विकास के साथ, वर्तमान में, किसी भी सामग्री के लिए आयन बमबारी लक्ष्य फिल्म द्वारा तैयार किया जा सकता है, क्योंकि लक्ष्य को किसी प्रकार के सब्सट्रेट पर कोटिंग करने की प्रक्रिया में स्पटर किया जाता है, मापी गई फिल्म की गुणवत्ता का एक महत्वपूर्ण प्रभाव पड़ता है, इसलिए, लक्ष्य सामग्री के लिए आवश्यकताएं भी अधिक कठोर हैं। लक्ष्य सामग्री के चयन में, फिल्म के उपयोग के अलावा खुद को चुना जाना चाहिए, निम्नलिखित मुद्दों पर भी विचार करना चाहिए:
फिल्म के बाद लक्ष्य सामग्री में अच्छी यांत्रिक शक्ति और रासायनिक स्थिरता होनी चाहिए;
लक्ष्य और सब्सट्रेट को मजबूती से संयोजित किया जाना चाहिए, अन्यथा इसे सब्सट्रेट के साथ लिया जाना चाहिए जिसमें झिल्ली परत का एक अच्छा संयोजन है, पहले एक आधार फिल्म को छिड़कना और फिर आवश्यक झिल्ली परत की तैयारी;
चूंकि झिल्ली सामग्री में होने वाली प्रतिक्रिया के लिए गैस के साथ प्रतिक्रिया करना आसान होना चाहिए, जिससे एक मिश्रित फिल्म उत्पन्न हो सके।
झिल्ली की प्रदर्शन आवश्यकताओं को पूरा करने के आधार पर, लक्ष्य सामग्री और सब्सट्रेट के थर्मल विस्तार के गुणांक के बीच का अंतर यथासंभव छोटा होता है, ताकि स्पटरेड झिल्ली पर थर्मल तनाव के प्रभाव को कम किया जा सके।
झिल्ली के उपयोग और प्रदर्शन आवश्यकताओं के अनुसार, लक्ष्य सामग्री को शुद्धता, अशुद्धता सामग्री, घटक एकरूपता, मशीनिंग सटीकता और अन्य तकनीकी आवश्यकताओं को पूरा करना होगा।
-यह लेख द्वारा जारी किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ
पोस्ट करने का समय: जनवरी-09-2024