प्रतिरोध ताप वाष्पीकरण स्रोत विशेषताएँ, आवश्यकताएँ और सामग्री चयन

प्रतिरोध हीटिंग वाष्पीकरण स्रोत संरचना सरल, उपयोग करने में आसान, बनाने में आसान है, वाष्पीकरण स्रोत का सबसे व्यापक रूप से इस्तेमाल किया जाने वाला एक प्रकार है। लोगों को आमतौर पर गर्मी जनरेटर या वाष्पीकरण नाव कहा जाता है।

हीटिंग के लिए इस्तेमाल की जाने वाली प्रतिरोधक सामग्री की आवश्यकताएं हैं: उच्च तापमान, प्रतिरोधकता, उच्च तापमान पर कम वाष्प दबाव, झिल्ली सामग्री के साथ कोई रासायनिक प्रतिक्रिया नहीं, आउटगैसिंग और प्रदूषण उत्पन्न नहीं करता है। मुख्य रूप से दुर्दम्य धातुओं, जैसे कि W, Mo, Ta और अन्य सामग्रियों से चयनित प्रतिरोध हीटिंग सामग्री या उच्च शुद्धता, उच्च शक्ति वाले ग्रेफाइट या बोरॉन नाइट्राइड सिंथेटिक प्रवाहकीय सिरेमिक और अन्य सामग्रियों का चयन। कभी-कभी, वाष्पीकरण स्रोत सामग्री के रूप में Fe, Ni, Ni-Cr मिश्र धातु और Pt भी चुन सकते हैं।

विभिन्न प्रतिरोध ताप वाष्पीकरण स्रोत आम सामग्रियों (जैसे कि Ti, Mo, C, Ta, W, आदि) के गलनांक और वाष्प दाब और तापमान संबंध वक्र अलग-अलग होते हैं। उनमें से, वाष्पीकरण तापमान पर गर्म करने पर टंगस्टन भंगुर हो जाता है क्योंकि हीटिंग जंक्शन उत्पाद होता है। दूसरी ओर, मोलिब्डेनम, शुद्धता में भिन्न होता है, कुछ भंगुर हो जाते हैं और अन्य नहीं। टंगस्टन वाष्पशील ऑक्सीजन यौगिक WO3 बनाने के लिए जल वाष्प के साथ प्रतिक्रिया करता है।

इसलिए, जब टंगस्टन को अवशिष्ट जल वाष्प में गर्म किया जाता है, तो गर्म सामग्री लगातार समाप्त हो जाती है। जब अवशिष्ट गैस का दबाव कम होता है, तो बहुत अधिक सामग्री का नुकसान नहीं होता है, लेकिन यह झिल्ली का एक गंभीर संदूषण है।

फिलामेंटरी स्रोतों के उपयोग में झिल्ली सामग्री पर गर्म तार के गीलेपन पर ध्यान देना चाहिए। उदाहरण के लिए, गर्म तार का तापमान बहुत तेज़ी से बढ़ता है, झिल्ली सामग्री को तुरंत पिघलाना आसान नहीं होता है और गर्म तार को गीला करना पर्याप्त नहीं होता है। नतीजतन, बिना पिघली हुई फिल्म तार की टोकरी से बाहर गिर सकती है। साथ ही, तापमान में बहुत तेज़ी से वृद्धि भी झिल्ली सामग्री में गैस को जल्दी से छोड़ने का कारण बनेगी, जिसके परिणामस्वरूप बुलबुले या छींटे पड़ेंगे, जिसके परिणामस्वरूप सब्सट्रेट पर छोटी बूंदें बन जाएंगी। इसलिए, फिलामेंट स्रोतों का उपयोग तापमान नियंत्रण के साथ किया जाना चाहिए।

वायर बास्केट, शंक्वाकार कॉइल या सर्पिल कॉइल का मुख्य नुकसान यह है कि सहायक फिल्म सामग्री की मात्रा बहुत कम होती है, और यह स्रोत गर्म तार के तापमान को बढ़ा देगा क्योंकि फिल्म सामग्री के वाष्पित होने के बाद फिल्म सामग्री की मात्रा कम हो जाती है, जिससे वाष्पीकरण दर बढ़ जाती है। यह भी एक समस्या है जिसे फिल्म बनाने की प्रक्रिया के लिए ध्यान में रखा जाना चाहिए जिसमें वाष्पीकरण दर पर सख्त नियंत्रण की आवश्यकता होती है।

(2) कार्य सिद्धांत और संरचना आकार और उपयोग विशेषता

प्रतिरोध हीटिंग वाष्पीकरण स्रोत, वास्तव में, प्रतिरोध हीटर है यह गर्मी जनरेटर या वाष्पीकरण नाव का उपयोग सीधे सक्रिय होता है, ताकि बड़ी संख्या में जूल गर्मी के माध्यम से वर्तमान और धातु फिल्म सामग्री को पिघलाने के लिए उच्च तापमान प्राप्त हो, ताकि इसका वाष्पीकरण एक प्रकार का वाष्पीकरण स्रोत हो।

-यह लेख द्वारा जारी किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ