કઠણ આવરણ જમા કરવા માટેની પરંપરાગત તકનીકોનો પરિચય

૧. થર્મલ સીવીડી ટેકનોલોજી

કઠણ આવરણ મોટે ભાગે ધાતુના સિરામિક આવરણ (TiN, વગેરે) હોય છે, જે કોટિંગમાં ધાતુની પ્રતિક્રિયા અને પ્રતિક્રિયાશીલ ગેસિફિકેશન દ્વારા રચાય છે. શરૂઆતમાં, 1000 ℃ ના ઊંચા તાપમાને થર્મલ ઉર્જા દ્વારા સંયોજન પ્રતિક્રિયાની સક્રિયકરણ ઊર્જા પ્રદાન કરવા માટે થર્મલ CVD ટેકનોલોજીનો ઉપયોગ કરવામાં આવતો હતો. આ તાપમાન ફક્ત સિમેન્ટેડ કાર્બાઇડ ટૂલ્સ પર TiN અને અન્ય કઠણ આવરણ જમા કરવા માટે યોગ્ય છે. અત્યાર સુધી, સિમેન્ટેડ કાર્બાઇડ ટૂલ હેડ પર TiN-Al20 સંયુક્ત આવરણ જમા કરવા માટે તે હજુ પણ એક મહત્વપૂર્ણ ટેકનોલોજી છે.

2. હોલો કેથોડ આયન કોટિંગ અને હોટ વાયર આર્ક આયન કોટિંગ

૧૯૮૦ ના દાયકામાં, હોલો કેથોડ આયન કોટિંગ અને હોટ વાયર આર્ક આયન કોટિંગનો ઉપયોગ કોટેડ કટીંગ ટૂલ્સ જમા કરવા માટે કરવામાં આવતો હતો. આ બંને આયન કોટિંગ ટેકનોલોજી આર્ક ડિસ્ચાર્જ આયન કોટિંગ ટેકનોલોજી છે, જેનો મેટલ આયનીકરણ દર ૨૦% થી ૪૦% સુધીનો છે.

3. કેથોડ આર્ક આયન કોટિંગ

કેથોડિક આર્ક આયન કોટિંગના ઉદભવથી મોલ્ડ પર સખત કોટિંગ જમા કરવાની ટેકનોલોજીનો વિકાસ થયો છે. કેથોડિક આર્ક આયન કોટિંગનો આયનીકરણ દર 60% ~ 90% છે, જે મોટી સંખ્યામાં ધાતુ આયન અને પ્રતિક્રિયા ગેસ આયનોને વર્કપીસની સપાટી સુધી પહોંચવા દે છે અને હજુ પણ ઉચ્ચ પ્રવૃત્તિ જાળવી રાખે છે, જેના પરિણામે પ્રતિક્રિયા જમા થાય છે અને TiN જેવા સખત કોટિંગનું નિર્માણ થાય છે. હાલમાં, કેથોડિક આર્ક આયન કોટિંગ ટેકનોલોજીનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે મોલ્ડ પર સખત કોટિંગ જમા કરવા માટે થાય છે.

કેથોડ આર્ક સ્ત્રોત એ નિશ્ચિત પીગળેલા પૂલ વિનાનો ઘન-સ્થિતિ બાષ્પીભવન સ્ત્રોત છે, અને આર્ક સ્ત્રોતની સ્થિતિ મનસ્વી રીતે મૂકી શકાય છે, જે કોટિંગ રૂમના અવકાશ ઉપયોગ દરમાં સુધારો કરે છે અને ભઠ્ઠી લોડિંગ ક્ષમતામાં વધારો કરે છે. કેથોડ આર્ક સ્ત્રોતોના આકારોમાં નાના ગોળાકાર કેથોડ આર્ક સ્ત્રોતો, સ્તંભાકાર આર્ક સ્ત્રોતો અને લંબચોરસ સપાટ મોટા આર્ક સ્ત્રોતોનો સમાવેશ થાય છે. નાના આર્ક સ્ત્રોતો, સ્તંભાકાર આર્ક સ્ત્રોતો અને મોટા આર્ક સ્ત્રોતોના વિવિધ ઘટકોને મલ્ટી-લેયર ફિલ્મો અને નેનો મલ્ટિલેયર ફિલ્મો જમા કરવા માટે અલગથી ગોઠવી શકાય છે. દરમિયાન, કેથોડિક આર્ક આયન કોટિંગના ઉચ્ચ ધાતુ આયનીકરણ દરને કારણે, ધાતુ આયન વધુ પ્રતિક્રિયા વાયુઓને શોષી શકે છે, જેના પરિણામે વિશાળ પ્રક્રિયા શ્રેણી અને ઉત્તમ સખત કોટિંગ મેળવવા માટે સરળ કામગીરી થાય છે. જો કે, કેથોડિક આર્ક આયન કોટિંગ દ્વારા મેળવેલા કોટિંગ સ્તરના માઇક્રોસ્ટ્રક્ચરમાં બરછટ ટીપાં છે. તાજેતરના વર્ષોમાં, ફિલ્મ સ્તરની રચનાને સુધારવા માટે ઘણી નવી તકનીકો ઉભરી આવી છે, જેણે આર્ક આયન કોટિંગ ફિલ્મની ગુણવત્તામાં સુધારો કર્યો છે.

——આ લેખ ગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ ટેકનોલોજી દ્વારા પ્રકાશિત કરવામાં આવ્યો હતો, જેઓપ્ટિકલ કોટિંગ મશીનોના ઉત્પાદક.