Tha sputtering magnetron sa mhòr-chuid a’ toirt a-steach còmhdhail plasma sgaoilidh, gràbhaladh targaid, tasgadh film tana agus pròiseasan eile, agus bidh buaidh aig an raon magnetach air a’ phròiseas sputtering magnetron. Anns an t-siostam sputtering magnetron a bharrachd air raon magnetach ortogonal, tha na dealanan fo ùmhlachd feachd Lorentz agus bidh iad a’ dèanamh gluasad slighe-snìomhach, feumaidh iad a bhith fo bhuaidh leantainneach gus gluasad mean air mhean chun an anod. Air sgàth 's gu bheil am bualadh a’ toirt air cuid de na dealanan an anod a ruighinn às deidh an lùth beag, chan eil teas bomadh air an t-substrate mòr nas motha. A bharrachd air an sin, air sgàth cuingealachaidhean raon magnetach an targaid air na dealanan, tha an raon beag ionadail seo de dùmhlachd dealan glè àrd ann an uachdar an targaid den bhuaidh magnetach san roinn a tha taobh a-staigh an t-slighe-sgaoilidh, agus anns an raon buaidh magnetach taobh a-muigh uachdar an t-substrate, gu sònraichte air falbh bhon raon magnetach faisg air an uachdar, tha dùmhlachd dealan mar thoradh air sgaoileadh mòran nas ìsle agus gu ìre mhath aonfhoirmeil, agus eadhon nas ìsle na na suidheachaidhean sputtering dipole (air sgàth an eadar-dhealachaidh cuideam gas obrach dà òrdugh meudachd). Tha dùmhlachd ìosal nan dealanan a’ bomadh uachdar an t-substrate, agus mar sin tha am bomadh air an t-substrate air adhbhrachadh leis an àrdachadh teòthachd nas ìsle, agus is e sin am prìomh dhòigh air teòthachd an t-substrate sputtering magnetron àrdachadh ìosal. A bharrachd air an sin, mura h-eil ach raon dealain ann, ruigidh na dealanan an anod às deidh astar glè ghoirid, agus chan eil coltachd bualadh leis a’ ghas obrach ach 63.8%. Agus ma chuireas tu an raon magnetach ris, bidh dealanan a’ gluasad chun an anod gus gluasad snìomhach a dhèanamh, bidh an raon magnetach a’ ceangal agus a’ leudachadh slighe nan dealanan, a’ meudachadh gu mòr coltachd bualadh nan dealanan agus a’ ghas obrach, a bhrosnaicheas gu mòr tachairt ianachadh, agus an uairsin bidh dealanan a’ tighinn còmhla ris a’ phròiseas bualadh a-rithist, agus faodar coltachd bualadh a mheudachadh grunn òrdughan meud, a’ cleachdadh lùth nan dealanan gu h-èifeachdach, agus mar sin a’ cruthachadh dùmhlachd àrd. Bidh dùmhlachd plasma ag àrdachadh ann an sgaoileadh deàrrsadh neo-àbhaisteach a’ phlasma. Tha an ìre aig a bheil dadaman a’ spùtadh a-mach às an targaid air a mheudachadh cuideachd, agus tha spùtadh an targaid air adhbhrachadh le bomadh an targaid le ianan adhartach nas èifeachdaiche, agus is e sin an t-adhbhar airson an ìre àrd de thasgadh spùtadh magnetron. A bharrachd air an sin, faodaidh làthaireachd an achaidh magnetach an siostam spùtadh a dhèanamh ag obair aig cuideam èadhair nas ìsle, faodaidh cuideam èadhair ìosal 1 ianan a dhèanamh ann an roinn sreath an t-slige gus an bualadh a lughdachadh, bomadh an targaid le lùth cineatach an ìre mhath mòr, agus an latha gus na dadaman targaid spùtadh agus bualadh gas neodrach a lughdachadh, gus casg a chuir air na dadaman targaid bho bhith air an sgapadh gu balla an inneil no air am breabadh air ais gu uachdar an targaid, gus ìre agus càileachd tasgadh film tana a leasachadh.
Faodaidh an raon magnetach targaid slighe nan dealanan a chuingealachadh gu h-èifeachdach, agus bheir sin buaidh air feartan a’ phlasma agus air mar a ghràbhaladh ianan air an targaid.
Lorg: faodaidh meudachadh air cunbhalachd raon magnetach an targaid cunbhalachd gràbhaladh uachdar an targaid a mheudachadh, agus mar sin cleachdadh stuth an targaid a leasachadh; faodaidh sgaoileadh reusanta raon electromagnetic seasmhachd a’ phròiseis sputtering a leasachadh gu h-èifeachdach cuideachd. Mar sin, airson targaid sputtering magnetron, tha meud agus sgaoileadh an raoin magnetach air leth cudromach.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 14 Dùbhlachd 2023