1. Teicneòlas CVD teirmeach
’S e còtaichean ceirmeag meatailt (TiN, msaa.) a th’ ann am còtaichean cruaidh sa mhòr-chuid, a tha air an cruthachadh le ath-bhualadh meatailt anns a’ chòtadh agus gasachadh ath-ghnìomhach. An toiseach, chaidh teicneòlas CVD teirmeach a chleachdadh gus lùth gnìomhachaidh ath-bhualadh measgaichte a thoirt seachad le lùth teirmeach aig teòthachd àrd de 1000 ℃. Chan eil an teòthachd seo freagarrach ach airson TiN agus còtaichean cruaidh eile a thasgadh air innealan carbide saimeantaichte. Gu ruige seo, tha e fhathast na theicneòlas cudromach còtaichean co-dhèanta TiN-Al20 a thasgadh air cinn innealan carbide saimeantaichte.
2. Còmhdach ian catod falamh agus còmhdach ian stuagh uèir teth
Anns na 1980an, chaidh còmhdach ian catod falamh agus còmhdach ian arc uèir theth a chleachdadh gus innealan gearraidh còmhdaichte a thasgadh. Tha an dà theicneòlas còmhdach ian sgaoilidh arc seo, le ìre ianachaidh meatailt suas ri 20% ~ 40%.
3. Còmhdach ian arc catod
Tha nochdadh còmhdach ian arc cathodic air leantainn gu leasachadh teicneòlais airson còmhdach cruaidh a thasgadh air molltairean. Tha an ìre ianachaidh aig còmhdach ian arc cathodic eadar 60% agus 90%, a’ leigeil le àireamh mhòr de ianan meatailt agus ianan gas ath-bhualadh ruighinn uachdar a’ phìos obrach agus gnìomhachd àrd a chumail suas fhathast, agus mar thoradh air sin bidh tasgadh ath-bhualadh ann agus cruthachadh còmhdach cruaidh leithid TiN. An-dràsta, thathas a’ cleachdadh teicneòlas còmhdach ian arc cathodic sa mhòr-chuid airson còmhdach cruaidh a thasgadh air molltairean.
’S e stòr falmhachaidh staid chruaidh a th’ anns an stòr bogha catod gun amar leaghte stèidhichte, agus faodar suidheachadh an stòr bogha a chuir gu neo-riaghailteach, a’ leasachadh ìre cleachdaidh àite an t-seòmair còmhdaich agus a’ meudachadh comas luchdachadh an àmhainn. Tha cumaidhean stòran bogha catod a’ toirt a-steach stòran bogha catod cruinn beaga, stòran bogha colbhach, agus stòran bogha mòra còmhnard ceart-cheàrnach. Faodar diofar phàirtean de stòran bogha beaga, stòran bogha colbhach, agus stòran bogha mòra a chuir air dòigh air leth gus filmichean ioma-fhilleadh agus filmichean ioma-fhilleadh nano a thasgadh. Aig an aon àm, air sgàth an ìre àrd ianachaidh meatailt de chòmhdach ian bogha catodic, faodaidh ianan meatailt barrachd ghasan ath-bhualadh a ghabhail a-steach, agus mar thoradh air sin tha raon pròiseas farsaing agus obrachadh sìmplidh ann gus còmhdach cruaidh sàr-mhath fhaighinn. Ach, tha boinneagan garbha ann am microstructar an t-sreath còmhdaich a gheibhear le còmhdach ian bogha catodic. Anns na bliadhnachan mu dheireadh, tha mòran theicneòlasan ùra air nochdadh gus structar an t-sreath film a leasachadh, a tha air càileachd film còmhdach ian bogha a leasachadh.
——Chaidh an t-artaigil seo fhoillseachadh le Guangdong Zhenhua Technology, aneach-dèanamh innealan còmhdach optigeach.
Àm puist: 28 Giblean 2023