Réamhrá ar Theicnící Traidisiúnta chun Bratuithe Crua a Thaisceadh

1. Teicneolaíocht CVD teirmeach

Is iad bratuithe crua den chuid is mó bratuithe ceirmeacha miotail (TiN, etc.), a chruthaítear trí imoibriú miotail sa sciath agus gású imoibríoch. Ar dtús, baineadh úsáid as an teicneolaíocht CVD teirmeach chun fuinneamh gníomhachtaithe imoibriúcháin chomhcheangailte a sholáthar trí fhuinneamh teirmeach ag teocht ard 1000 ℃. Níl an teocht seo oiriúnach ach chun TiN agus bratuithe crua eile a thaisceadh ar uirlisí cairbíde stroighnithe. Go dtí seo, is teicneolaíocht thábhachtach í fós bratuithe ilchodacha TiN-Al20 a thaisceadh ar chinn uirlisí cairbíde stroighnithe.

2. Sciath ian catóide log agus sciath ian stua sreinge te

Sna 1980idí, baineadh úsáid as sciath ian catóide log agus sciath ian stua sreinge te chun uirlisí gearrtha brataithe a thaisceadh. Is teicneolaíochtaí sciath ian urscaoilte stua iad an dá theicneolaíocht sciath ian seo, le ráta ianúcháin miotail suas le 20% ~ 40%.

3. Sciath ian stua catóide

Mar thoradh ar theacht chun cinn sciath ian stua catóideach, forbraíodh an teicneolaíocht chun sciatha crua a thaisceadh ar mhúnlaí. Is é 60% ~ 90% an ráta ianúcháin atá ag sciath ian stua catóideach, rud a ligeann do líon mór ian miotail agus ian gáis imoibrithe teacht ar dhromchla an phíosa oibre agus gníomhaíocht ard a choinneáil fós, rud a fhágann go dtaiscítear imoibriú agus go bhfoirmítear sciatha crua ar nós TiN. Faoi láthair, úsáidtear teicneolaíocht sciath ian stua catóideach den chuid is mó chun sciatha crua a thaisceadh ar mhúnlaí.

Is foinse galúcháin stáit sholadaigh í an fhoinse stua catóide gan linn leáite seasta, agus is féidir suíomh na foinse stua a chur go treallach, rud a fheabhsaíonn ráta úsáide spáis an tseomra sciath agus a mhéadaíonn acmhainn lódála na foirnéise. I measc chruthanna na bhfoinsí stua catóide tá foinsí stua catóide ciorclacha beaga, foinsí stua colúnacha, agus foinsí stua móra cothroma dronuilleogacha. Is féidir comhpháirteanna éagsúla de fhoinsí stua beaga, foinsí stua colúnacha, agus foinsí stua móra a shocrú ar leithligh chun scannáin ilchisealacha agus scannáin ilchisealacha nana a thaisceadh. Idir an dá linn, mar gheall ar an ráta ard ianúcháin miotail de sciath ian stua catóideach, is féidir le hiain miotail níos mó gás imoibrithe a ionsú, rud a fhágann raon próisis leathan agus oibriú simplí chun sciatha crua den scoth a fháil. Mar sin féin, tá braoiníní garbha i micreastruchtúr na sraithe sciath a fhaightear trí sciath ian stua catóideach. Le blianta beaga anuas, tá go leor teicneolaíochtaí nua tagtha chun cinn chun struchtúr na sraithe scannáin a bheachtú, rud a fheabhsaigh cáilíocht an scannáin sciath ian stua.

——Foilsíodh an t-alt seo ag Guangdong Zhenhua Technology, amonaróir meaisíní sciath optúla.