Le dépôt ionique consiste à déposer les réactifs ou les matériaux évaporés sur le substrat par bombardement ionique d'ions gazeux ou de matériaux évaporés, tandis que ces derniers sont dissociés ou dégazés dans une chambre à vide. Le principe technique de l'équipement de dépôt ionique à cathode creuse est le dépôt ionique à cathode creuse, une technologie de dépôt par décharge à cathode creuse.
À propos du principe du dépôt par décharge à cathode creuse : la technique de dépôt par décharge à cathode creuse utilise une décharge à cathode chaude pour générer un faisceau de plasma. La cathode est un tube creux en tantale. La cathode et l'anode auxiliaire sont proches l'une de l'autre, ce qui constitue les deux pôles qui déclenchent la décharge en arc.

Le pistolet de dépôt à décharge à cathode creuse s'allume de deux manières.
1, L'utilisation d'un champ électrique à haute fréquence appliqué au tube de tantale de la cathode, de sorte que l'ionisation du gaz argon du tube de tantale de la cathode en ions argon, puis déclenchée par le tube de tantale de la cathode bombardé en continu par des ions argon, jusqu'à ce que la chaleur se réchauffe jusqu'à la norme de température minimale d'émission d'électrons et génère un faisceau d'électrons plasma.
2, Dans le tube de tantale d'anode auxiliaire et de cathode entre l'application d'une tension continue d'environ 300 V, le tube de tantale de cathode passe toujours dans le gaz argon, dans la pression de gaz argon de 1 Pa à 10 Pa, le phénomène de décharge luminescente du tube de tantale d'anode auxiliaire et de cathode, la génération de bombardement d'ions argon bombarde constamment le tube de tantale de cathode, jusqu'à une température de 2300 K à 2400 K, le tube de tantale de cathode émet un grand nombre d'électrons, passera de « décharge luminescente » à « décharge d'arc », cette fois la tension est aussi basse que 30 V à 60 V, puis tant que la cathode et l'anode entre l'alimentation électrique, vous pouvez générer un faisceau d'électrons plasma.
Équipement de revêtement cathodique
1、Améliorer la structure du pistolet d'origine, du courant maximal d'origine de 230A à 280A.
2、Améliorez la structure du système de refroidissement d'origine, du refroidissement de la machine à eau glacée à 4 ℃ d'origine au refroidissement par eau de refroidissement à température ambiante, économisant ainsi les coûts d'électricité pour les utilisateurs.
3, améliorez la structure de transmission mécanique d'origine, passez à la structure de transmission à fluide magnétique, la température élevée ne bloquera pas le cadre rotatif.
4, la zone de revêtement efficace ¢ 650X1100, peut accueillir des fabricants de matrices et d'engrenages surdimensionnés 750 X 1250X600 de broches extra-longues, avec un très grand volume.
La machine de revêtement ionique à cathode creuse est principalement utilisée dans le placage d'outils, de moules, de grands moules à miroir, de moules en plastique, de couteaux à tailler et d'autres produits.
Date de publication : 07/11/2022
