La croissance du film a un impact majeur. Si la rugosité de surface du substrat est importante et se combine avec des défauts de surface, cela affectera la fixation et la vitesse de croissance du film. Par conséquent, avant le revêtement sous vide, le substrat sera prétraité, ce qui influencera sa rugosité. Après l'intervention ultrasonique, une petite rayure se formera à la surface du substrat, augmentant la surface de contact entre les particules du film mince et la surface du substrat, ce qui améliorera considérablement la solidité du rotor et la solidité de la membrane.
Pour la plupart des substrats, la diminution de la rugosité entraîne une augmentation de l'adhérence du film, ce qui renforce la force de liaison de la membrane à la base. Certains substrats constituent également des cas particuliers, comme la fixation du film à la base céramique. À mesure que la rugosité diminue, la force de liaison de la membrane à la base s'affaiblit.
Parmi les facteurs influençant la composition du film, le coefficient de dilatation thermique joue un rôle déterminant. Lorsque le coefficient de dilatation thermique du film est supérieur à celui de la matrice, le couple est négatif et la tension maximale se situe à la limite libre. La compression est proche du centre du film, ce qui peut donner au film une apparence stratifiée. Prenons l'exemple du film mince sédimentaire Skinus. Le faible coefficient de dilatation thermique du diamant entraîne, après le dépôt en phase gazeuse, une baisse de la température du substrat, passant d'une température sédimentaire élevée à la température ambiante, et la contraction du diamant par rapport au substrat est réduite. Une contrainte thermique importante se produit à l'intérieur. Lorsque le coefficient de dilatation thermique du film est inférieur au coefficient de dilatation thermique du substrat, le couple est positif et le film est difficile à stratifier.
–Cet article est publié parfabricant de machines de revêtement sous videGuangdong Zhenhua
Date de publication : 29 février 2024