La structure de la source d'évaporation à chauffage par résistance est simple, facile à utiliser et à fabriquer. C'est le type de source d'évaporation le plus répandu. On l'appelle généralement générateur de chaleur ou bateau d'évaporation.
Les exigences de chauffage du matériau de résistance utilisé sont les suivantes : haute température, résistivité, faible pression de vapeur à haute température, absence de réaction chimique avec le matériau de la membrane et absence de dégazage et de pollution. Les matériaux de chauffage par résistance sélectionnés sont principalement des métaux réfractaires tels que l'W, le Mo, le Ta et d'autres matériaux, ou des céramiques conductrices synthétiques à base de graphite ou de nitrure de bore de haute pureté et de haute résistance, ainsi que d'autres matériaux. Le Fe, le Ni, les alliages Ni-Cr et le Pt peuvent également être utilisés comme matériaux d'évaporation.
Les différentes sources d'évaporation par chauffage par résistance de matériaux courants (tels que Ti, Mo, C, Ta, W, etc.) présentent des courbes de relation différentes entre le point de fusion, la pression de vapeur et la température. Parmi ces sources, le tungstène devient cassant lorsqu'il est chauffé à la température d'évaporation en raison du produit de jonction thermique. Le molybdène, en revanche, présente des puretés variables, certains devenant cassants et d'autres non. Le tungstène réagit avec la vapeur d'eau pour former le composé oxygéné volatil WO3.
Par conséquent, lorsque le tungstène est chauffé dans la vapeur d'eau résiduelle, le matériau chauffé s'épuise continuellement. Lorsque la pression du gaz résiduel est faible, la perte de matériau est faible, mais elle constitue une contamination importante de la membrane.
Lors de l'utilisation de sources filamentaires, il est important de veiller au mouillage du fil chaud sur le matériau de la membrane. Par exemple, si la température du fil chaud augmente trop rapidement, la membrane ne fond pas immédiatement et son mouillage est insuffisant. Par conséquent, le film non fondu peut se détacher du panier métallique. De plus, une augmentation trop rapide de la température peut entraîner une libération rapide du gaz contenu dans la membrane, ce qui peut entraîner la formation de bulles ou d'éclaboussures, entraînant la formation de petites gouttelettes adhérant au substrat. Par conséquent, les sources filamentaires doivent être utilisées avec un contrôle de la température.
Le principal inconvénient des paniers métalliques, des bobines coniques ou des bobines spiralées est la quantité insuffisante de film support. Cette situation entraîne une augmentation de la température du fil chaud à mesure que la quantité de film diminue après évaporation, entraînant ainsi une augmentation du taux d'évaporation. Ce problème est également important pour la fabrication de films, qui nécessite un contrôle strict du taux d'évaporation.
(2) Le principe de fonctionnement et la structure, la forme et les caractéristiques d'utilisation
La source d'évaporation de chauffage par résistance est en fait un chauffage par résistance, c'est l'utilisation du générateur de chaleur ou du bateau d'évaporation directement alimenté, de sorte que le courant à travers un grand nombre de Joules chauffe et obtient une température élevée pour faire fondre le matériau du film métallique, de sorte que son évaporation d'une sorte de source d'évaporation.
–Cet article est publié parfabricant de machines de revêtement sous videGuangdong Zhenhua
Date de publication : 23 février 2024