1. Technologie CVD thermique
Les revêtements durs sont principalement des revêtements métallo-céramiques (TiN, etc.), formés par réaction du métal contenu dans le revêtement et gazéification réactive. Initialement, la technologie CVD thermique était utilisée pour fournir l'énergie d'activation de la réaction de combinaison par l'énergie thermique à une température élevée de 1 000 °C. Cette température ne convient que pour le dépôt de TiN et d'autres revêtements durs sur des outils en carbure cémenté. À ce jour, le dépôt de revêtements composites TiN-Al20 sur des têtes d'outils en carbure cémenté reste une technologie importante.
2. Revêtement ionique à cathode creuse et revêtement ionique à arc à fil chaud
Dans les années 1980, le revêtement ionique à cathode creuse et le revêtement ionique par arc à fil chaud étaient utilisés pour le dépôt d'outils de coupe revêtus. Ces deux technologies de revêtement ionique sont des technologies de revêtement ionique par décharge d'arc, avec un taux d'ionisation du métal allant jusqu'à 20 à 40 %.
3. Revêtement ionique par arc cathodique
L'émergence du revêtement ionique par arc cathodique a conduit au développement de la technologie de dépôt de revêtements durs sur les moules. Le taux d'ionisation de ce revêtement est de 60 à 90 %, ce qui permet à un grand nombre d'ions métalliques et de gaz de réaction d'atteindre la surface de la pièce tout en maintenant une activité élevée, ce qui entraîne le dépôt par réaction et la formation de revêtements durs tels que le TiN. Actuellement, la technologie de revêtement ionique par arc cathodique est principalement utilisée pour le dépôt de revêtements durs sur les moules.
La source d'arc cathodique est une source d'évaporation à l'état solide sans bain de fusion fixe. Son positionnement est arbitraire, ce qui optimise l'utilisation de l'espace de la salle de revêtement et augmente la capacité de chargement du four. Les formes de sources d'arc cathodiques incluent des petites sources d'arc cathodiques circulaires, des sources d'arc en colonne et des sources d'arc rectangulaires plates de grande taille. Différents composants de ces sources peuvent être disposés séparément pour déposer des films multicouches et des nanofilms multicouches. Grâce au taux d'ionisation métallique élevé du revêtement ionique par arc cathodique, les ions métalliques peuvent absorber davantage de gaz de réaction, ce qui offre une large gamme de procédés et une utilisation simple pour obtenir d'excellents revêtements durs. Cependant, la microstructure de la couche de revêtement obtenue par revêtement ionique par arc cathodique présente des gouttelettes grossières. Ces dernières années, de nombreuses nouvelles technologies ont vu le jour pour affiner la structure de la couche, améliorant ainsi la qualité du revêtement ionique.
——Cet article a été publié par Guangdong Zhenhua Technology, unefabricant de machines de revêtement optique.
Date de publication : 28 avril 2023