Kalvon kasvun vastustaminen on erittäin tärkeää. Jos substraatin pinnan karheus on suuri ja siihen liittyy yhä enemmän pintavirheitä, se vaikuttaa kalvon kiinnittymiseen ja kasvunopeuteen. Siksi ennen tyhjiöpinnoituksen aloittamista substraatti esikäsitellään, mikä vaikuttaa substraatin pinnan karheuteen substraatin pinnalla. Ultraäänikäsittelyn jälkeen substraatin pintaan muodostuu pieni naarmu, mikä lisää ohutkalvohiukkasten ja substraatin pinnan välistä kosketuspinta-alaa, mikä voi merkittävästi lisätä roottorin ja kalvopohjan yhdistelmän muodollisuutta.
Useimpien alustamateriaalien kohdalla alustan karheuden pienentyessä kalvon tarttuvuus kasvaa eli kalvon pohjan sitoutumisvoima vahvistuu. On myös joitakin alustamateriaaleja, jotka ovat erityistapauksia, kuten keraamisen alustan kalvon kiinnitys. Asteittain pienentyessä kalvon pohjan sitoutumisvoima heikkenee.
Kalvon ja kalvon yhteensopivuuden vaikuttavissa tekijöissä lämpölaajenemiskertoimella on ratkaiseva rooli. Kun kalvon lämpölaajenemiskerroin on suurempi kuin matriisin lämpölaajenemiskerroin, vääntömomentti on negatiivinen ja suurin jännitys on vapaalla rajalla. Se puristuu kokoon lähellä keskikohtaa ja kalvo voi näyttää kerrostuneelta. Otetaan esimerkiksi sedimenttinen Skinus-ohutkalvo. Koska timantin lämpölaajenemiskerroin on pieni, kaasufaasilaskeuman päätyttyä substraatin lämpötila laskee korkeammasta sedimenttilämpötilasta huoneenlämpötilaan, ja timantin supistuminen substraattiin verrattuna vähenee. Sisällä syntyy suuri lämpöjännitys. Kun kalvon lämpölaajenemiskerroin on pienempi kuin substraatin lämmityskerroin, vääntömomentti on positiivinen, eikä kalvoa ole helppo kerrostaa.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituskoneiden valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisun aika: 29. helmikuuta 2024