Sputterointipinnoituksen, erityisesti magnetronisputterointipinnoitustekniikan, kehityksen myötä ionipommituksen avulla voidaan valmistaa minkä tahansa materiaalin kohdekalvoa. Koska kohde sputteroidaan pinnoitusprosessissa jonkinlaiselle alustalle, mitatun kalvon laadulla on tärkeä vaikutus, joten myös kohdemateriaalille asetetut vaatimukset ovat tiukemmat. Kohdemateriaalin valinnassa on itse kalvon käytön lisäksi otettava huomioon myös seuraavat seikat:
Kohdemateriaalilla tulee olla hyvä mekaaninen lujuus ja kemiallinen stabiilius kalvon jälkeen;
Kohde ja substraatti on yhdistettävä tiukasti, muuten se on otettava substraatin kanssa, jossa on hyvä kalvokerroksen yhdistelmä, ensin sputteroimalla pohjakalvo ja sitten valmistamalla tarvittava kalvokerros;
Reaktiona kalvomateriaaliin sputteroitumisen on oltava helppoa reagoida kaasun kanssa yhdistekalvon muodostamiseksi.
Kalvon suorituskykyvaatimusten täyttämisen lähtökohtana kohdemateriaalin ja alustan lämpölaajenemiskertoimen välinen ero on mahdollisimman pieni, jotta lämpöjännityksen vaikutus sputteroituun kalvoon minimoidaan.
Kalvon käyttö- ja suorituskykyvaatimusten mukaan kohdemateriaalin on täytettävä puhtaus, epäpuhtauspitoisuus, komponenttien tasaisuus, työstötarkkuus ja muut tekniset vaatimukset.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituskoneiden valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisun aika: 09.01.2024