Vastuslämmityksen haihdutuslähteen rakenne on yksinkertainen, helppokäyttöinen ja helppo valmistaa, ja se on yleisimmin käytetty haihdutuslähdetyyppi. Sitä kutsutaan yleensä lämmönkehittimeksi tai haihdutusveneeksi.
Käytettävän vastusmateriaalin lämmitysvaatimukset ovat: korkea lämpötila, resistiivisyys, alhainen höyrynpaine korkeissa lämpötiloissa, ei kemiallista reaktiota kalvomateriaalin kanssa, ei kaasunmuodostusta eikä saastumista. Vastuslämmitysmateriaaleiksi valitaan pääasiassa tulenkestäviä metalleja, kuten W, Mo, Ta ja muita materiaaleja, tai erittäin puhdasta, erittäin lujaa grafiittia tai boorinitridistä valmistettuja synteettisiä johtavia keraamisia materiaaleja. Joskus haihdutuslähteeksi voidaan valita myös Fe, Ni, Ni-Cr-seos ja Pt.
Yleisten materiaalien (kuten Ti, Mo, C, Ta, W jne.) vastuskuumennuksen ja höyrynpaineen sekä lämpötilan suhdekäyrät vaihtelevat eri tavoin, kun ne kuumennetaan haihtumislämpötilaan. Näistä volframi haurastuu kuumennettaessa haihtumislämpötilaan lämmitysliitoskohdan tuotteen vuoksi. Molybdeenin puhtaus vaihtelee, jotkut haurastuvat ja toiset eivät. Volframi reagoi vesihöyryn kanssa muodostaen haihtuvaa happiyhdistettä WO3.
Siksi, kun volframia kuumennetaan jäännösvesihöyryssä, kuumennettu materiaali hupenee jatkuvasti. Kun jäännöskaasun paine on alhainen, materiaalihävikki ei ole suuri, mutta se aiheuttaa kalvon vakavan kontaminaation.
Filamenttilähteitä käytettäessä on kiinnitettävä huomiota kuumalangan kostumiseen kalvomateriaalilla. Esimerkiksi kuumalangan lämpötilan nousu liian nopeasti voi johtaa siihen, että kalvomateriaali ei sulata helposti koko kalvomateriaalia välittömästi, eikä kuumalangan kostutus ole riittävää. Tämän seurauksena sulamaton kalvo voi pudota lankakorista. Samalla liian nopea lämpötilan nousu aiheuttaa myös kalvomateriaalin kaasun nopeaa vapautumista, mikä johtaa kupliin tai roiskumiseen ja pienten pisaroiden muodostumiseen, jotka tarttuvat alustaan. Siksi filamenttilähteitä käytettäessä on otettava huomioon lämpötilan säätö.
Lankakoreiden, kartiomaisten kelojen tai spiraalikelojen suurin haittapuoli on se, että tukikalvomateriaalin määrä on liian pieni, ja tämä lähde aiheuttaa kuumalangan lämpötilan nousun kalvomateriaalin määrän vähentyessä kalvomateriaalin haihtumisen jälkeen, mikä johtaa haihtumisnopeuden nousuun. Tämä on myös ongelma, joka on otettava huomioon kalvonvalmistusprosessissa, joka vaatii haihtumisnopeuden tarkkaa hallintaa.
(2) Toimintaperiaate ja rakenteen muoto ja käyttöominaisuudet
Vastuslämmittimen haihdutuslähde on itse asiassa vastuslämmitin, jossa lämmöntuottaja tai haihdutusvene syöttää suoraan virtaa lämmönlähteeseen, jolloin suuri määrä jouleja kulkee virran läpi ja saa korkean lämpötilan sulattamaan metallikalvomateriaalin, jolloin sen haihtuminen toimii eräänlaisena haihdutuslähteenä.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituskoneiden valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisun aika: 23. helmikuuta 2024