اصول فنی تجهیزات پوشش سخت کاتد توخالی چیست؟

پوشش یونی به این معنی است که واکنش‌دهنده‌ها یا مواد تبخیر شده توسط بمباران یونی یون‌های گاز یا مواد تبخیر شده روی زیرلایه رسوب می‌کنند، در حالی که مواد تبخیر شده در یک محفظه خلاء تفکیک یا تخلیه گاز می‌شوند. اصل فنی تجهیزات پوشش سخت کاتد توخالی، پوشش یونی کاتد توخالی است که یک فناوری رسوب تخلیه کاتد توخالی است.

درباره اصل رسوب تخلیه کاتد توخالی: تکنیک رسوب تخلیه کاتد توخالی از تخلیه کاتد داغ برای تولید پرتو پلاسما استفاده می‌کند و کاتد یک لوله تانتالیوم توخالی است. کاتد و آند کمکی نزدیک به یکدیگر هستند که دو قطبی هستند که تخلیه قوس را مشتعل می‌کنند.

تفنگ رسوب‌گذاری با تخلیه کاتد توخالی به دو روش مشتعل می‌شود.
1. استفاده از میدان الکتریکی فرکانس بالا که بر روی لوله تانتالیوم کاتد اعمال می‌شود، به طوری که گاز آرگون لوله تانتالیوم کاتد به یون‌های آرگون یونیزه می‌شود و سپس توسط لوله تانتالیوم کاتد به طور مداوم توسط یون‌های آرگون بمباران می‌شود تا زمانی که گرما به حداقل دمای استاندارد انتشار الکترون برسد و پرتو الکترونی پلاسما تولید شود.

2. در لوله تانتالیوم آند کمکی و کاتد، بین اعمال ولتاژ DC حدود 300 ولت، لوله تانتالیوم کاتد همچنان وارد گاز آرگون می‌شود. در فشار گاز آرگون 1Pa-10Pa، پدیده تخلیه درخشش لوله تانتالیوم آند کمکی و کاتد رخ می‌دهد. یون‌های آرگون دائماً لوله تانتالیوم کاتد را بمباران می‌کنند و تا دمای 2300K-2400K، لوله تانتالیوم کاتد تعداد زیادی الکترون منتشر می‌کند که از "تخلیه درخشش" به "تخلیه قوس" تغییر می‌کند. این بار ولتاژ به 30V-60V می‌رسد. تا زمانی که کاتد و آند بین منبع تغذیه باشند، می‌توان پرتو الکترونی پلاسما تولید کرد.

تجهیزات پوشش کاتدی
۱. ساختار اصلی تفنگ را بهبود بخشید، از حداکثر جریان اصلی ۲۳۰ آمپر به ۲۸۰ آمپر.
۲. بهبود ساختار سیستم خنک‌کننده اصلی، از خنک‌کننده اصلی دستگاه آب یخ ۴ درجه سانتیگراد به خنک‌کننده آب با دمای اتاق، که باعث صرفه‌جویی در هزینه برق برای کاربران می‌شود.
3، ساختار انتقال مکانیکی اصلی را بهبود بخشیده و به ساختار انتقال سیال مغناطیسی تغییر داده است، دمای بالا قاب چرخان را مسدود نمی‌کند.
۴، مساحت پوشش موثر ۶۵۰X۱۱۰۰ پوند، می‌تواند ۷۵۰ X ۱۲۵۰X۶۰۰ قالب و چرخ‌دنده بزرگ با طول برش بسیار بلند را در خود جای دهد و حجم بسیار زیادی را در خود جای دهد.

دستگاه پوشش یون کاتدی توخالی عمدتاً در آبکاری ابزارها، قالب‌ها، قالب‌های آینه‌ای بزرگ، قالب‌های پلاستیکی، چاقوهای سنباده‌زنی و سایر محصولات استفاده می‌شود.